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叙述了聚焦离子束离子光学系统中离子枪的优化设计，采用复合形法进行优化设计后的离子枪，其发射性能，光学性能和工作寿命都显著提高。
聚焦离子束系统中离子枪的优化设计
【摘 要】
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叙述了聚焦离子束离子光学系统中离子枪的优化设计，采用复合形法进行优化设计后的离子枪，其发射性能，光学性能和工作寿命都显著提高。
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1995年6期
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