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最近，美国科学家发明了一种能同时聚焦离子束（通常为带正电荷的阳离子）和电子束的新系统，将离子束技术的运用范围和效率又往前推进了一步。聚焦的离子束在半导体行业有着重要作用，可用来切割纳米级结构，对光刻技术中的屏蔽板进行修补，分离和分析集成电路的各个元件，激活由特殊原子组成的材料，使其具有导电性等等。