大角度离子注入机相关论文
为了得到较大的束流，同时兼顾低能端的传输效果。加速管采用等梯度加速管，以保证加速电场均匀。新型等梯度加速管是一种线性设计，由一......
质量分析器是离子注人机的重要组成部分，它的主要作用，是将离子束中的离子按其质量数的不同进行分选，选择所需要的离子通过分析器光栏......
为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速......
阐述了大角度离子注入机的束流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束,从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步......
从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实......
大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点，通过优化软件结构和关键控制算法，成功实现......
介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软......
介绍了大角度离子注入机控制系统的功能,重点介绍了系统的总体设计和控制模块的设计、主控计算机与子控制器之间的通讯以及控制系......
