随着科学技术的飞速发展，高精尖技术对加工精度的要求越来越高。超精密抛光技术是衡量制造业发展程度的重要指标之一，超精密研抛技术广泛应用于航空航天、军事、集成电路、民用设备等诸多领域。但同发达国家相比，国内发展水平还相对较低，加工过程多依靠经验，加工效率低，成品率低。针对这一问题，本课题展开了对高精度双面研抛机的研究。本课题运用先进制造业广泛应用的虚拟样机技术对高精度双面研抛机进行了动态特性研究和工艺参数优化。重点研究了工艺参数、工件受力状态、工件运动轨迹、抛光去除率、成品率之间的关系，通过改变工艺参数以达到最佳加工效果，提高生产效率，提高成品率。主要研究内容如下：1.在理论分析与计算的基础上，推导出工件运动轨迹的数学模型。由三维实体建模软件Pro/E与动力学分析软件ADAMS联合建立虚拟样机模型。2.通过对虚拟样机模型的定性分析与定量分析验证模型的正确性，在此基础上完善样机模型。通过虚拟样机模型，分析工艺参数对工件运动状态以及研抛结果的影响。3.以多体系统动力学理论为基础，利用虚拟样机技术以及ADAMS、ANSYS联合仿真的方法，建立研抛机主传动系统的刚柔耦合模型。通过对系统振动特性的研究，选择合适的工艺参数，使加工过程中振动降到最小，提高成品率与加工质量。以工件运动轨迹作为评判研抛均匀性的指标，在此基础上，进行参数优化，选择最佳工艺参数，提高产品质量。本课题的研究对实际生产具有指导意义，也为进一步研究更高精度，加工更薄工件的高精度双面研抛机提供参考。