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为了获得超平滑的石英晶体表面，本文讨论了超精密抛光中材料的去除机理，提出了微小表面粗糙度的基本形成模型。实验采用软质磨料微粉和软质沥青抛光盘，加工出表面粗糙度为１～２的石英晶体超精密表面，实现了超精密加工的极限精度。
石英晶体无损伤理想镜面的超精密加工技术研究
【摘 要】
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为了获得超平滑的石英晶体表面，本文讨论了超精密抛光中材料的去除机理，提出了微小表面粗糙度的基本形成模型。实验采用软质磨料微粉和软质沥青抛光盘，加工出表面粗糙度为１～２的石英
【机 构】
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浙江大学,日本国琦玉大学工学部,日本国东京HiMEP研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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