计量光栅相关论文
介绍了计量光栅的测试与研究。这些光栅有刻划-腐蚀、照相-照相-镀铬、刻划-镀铬、照相-离子蚀刻。进行了光栅透射函数、±1级光强......
计量光栅作为测角、测长元件,已经得到越来越广泛地应用。随着技术的发展,提高元件和系统的精度变得日益迫切。如何提高精度,主要......
经上海市科学技术委员会组织专家评审,我院又有4项课题获上海市自然科学基金,具体项目及申请者是: 1.高精度计量光栅研究陈林2.用......
角度测量是测控技术的重要组成部分，光栅测量技术在近二三十年间，随着光栅刻制技术、电子技术和光栅莫尔条纹细分技术以及计算机技术......
为了提高计量光栅的分辨率.目前国内外通常采用电气细分,如:电阻链分相、电阻链幅值分割等方法,使用两路相位差为π/2电角度或三......
在史无前例的无产阶级文化大革命中,一机部机床研究所和北京精密机床零件厂的广大革命职工,以阶级斗争和两条路线斗争为纲,以战无......
根据机械工业部下达的标准化工作计划,由新天光学仪器研究所负责组织,于1983年8月25日至31日在厦门市召开了“计量光栅”专业标准......
近年来,机械制造行业发展的总的趋势是朝着提高机床效率、检测精度和自动化程度等几个方向发展;数字控制技术能够比较全面地完成......
(一)引言随着社会主义建设事业的发展,精密加工、精密测量、自动控制等都朝着数控、数显方向发展,作为对数控、数显的关键元件之......
随着科学技术的飞速发展,现代工业对一些零件的加工精度要求越来越高,因而对使用的数控设备和测量仪器等的精度和分辨率也提出了......
均匀性误差是指计量光栅各部位透光量不均匀所造成的定位误差,它用转换点误差来表示。如图1所示,1-2为亮区间(相当于亮线条),2-3......
光刻复制计量仪器的线性光栅多以金属铬膜做为光栅刻线,该膜具有良好的机械强度和化学稳定性。因此,也较普遍地用作各种分划图案......
计量光栅一般为增量制,当用作数控加工机床的检测元件时,有可能造成过冲量积累妨碍加工精度的提高。即使采用过冲补偿,加工精度仍......
本文介绍制造回光栅所采用的一种新型接近式光刻系统的原理、结构和光刻性能。该系统可以在有间隙的情况下进行光刻,并通过实验给......
本文简要介绍缩小四倍精缩镜头的光学设计考虑、参数确定、镜头的结构型式选择、设计结果及质量评价。
This article briefly int......
计量光栅技术,作为精确的长度与角度的数字测量、数字控制、自动测量与动态测试的强有力手段,在科学技术各方面的应用日益广泛,近......
本文小结了我们检测计量光棚均匀性误差的三种方法,即:描录法,分流法,光量法。讨论了有关原理,检测方法及计算公式,文中列举了实测......
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view......
§1.简史与应用现状交叉光栅(莫尔条纹)现象,溯源远久,但帅先认识此种现象之科学价值者,实为英国物理学家L.瑞利(1874),他曾利用......
本文系统地介绍计量光栅的特点和测量位移的原理;并且还介绍了莫尔条纹读数系统中的一般的读数头的结构,其中特别介绍了两倍、四倍......
目前,莫尔条纹技术在仪器仪表以及机床等方面得到了广泛的应用。所使用的光栅种类有:长光栅、径向光栅、切向光栅和圆光栅等。这......
本文叙述了光刻胶材料的基本光化学性质;论述了用这种用材料制作浮雕型相位全息图的优点;还介绍了制作光刻胶光学元件的工艺过程,......
基于多线光源阵列光刻系统降低一个方向的衍射效应原理,设计出了用于光刻计量光栅的复眼棱镜非接触光刻曝光系统。此系统具有简单......
计量光栅是一种新兴的位移测量元件,是现代化仪器、机床实现数控化、自动化及精密计量的关键元器件。计量光栅测量技术在国外已被......
本文对如何使长度基准传递达到最短溯源途径作了新颖构思,并在激光干涉测长领域内实施,取得了成功。
In this paper, we made a n......
本文着重介绍计量光栅使用原理、计量光栅的机械刻划工艺、照相复制技术和光栅精度测量等。
This article focuses on the use of......
详细论述了一种新颖的、以ＭＣＳ－５１单片机为核心的、以高速Ａ／Ｄ为主要支持芯片的硬、软件有机结合的高精度光栅数显装置的设计方案，以及四细分电......
北京光电量仪研究中心承担的科研项目——纳米级光电综合测长仪，不久前通过了由机械工业技术发展基金委员会组织的技术鉴定。本课题......
根据国机管[1999]430号文“关于批准、发布《光学零件镀膜减反射膜》等72项机械行业标准的通知”的有关规定,现将这72项机械行业的......
描述一台能够对长度达１ｍ的线纹尺和长度达２ｍ的光栅尺（和光栅线位移传感器）进行自动测量的激光干涉仪。干涉仪设计成双干涉光路系统，以消除......
中国计量测试学会南方八省(区)几何量测量首届学术讨论会于1985年11月5日到10日在长沙举行。参加会议的有中国计量测试学会几何量......
本文叙述了目前脉冲式零位光栅在定位精度方面,理论上存在的不足之处,提出了一种新型的零位光栅,即差分式零位光栅。
This paper ......
计量光栅是位移动态测量中的一种常用高精度的测量传感器。本文设计了一种光栅全系统动态测量精度分析装置，对不同运动速度下的系统......
一、概况自从莫尔条纹技术在计量、测定、自动控制等各个技术领域广泛应用以来,计量光栅的需要量与日俱增,精度的要求也在不断提......
前言莫尔条纹技术已十分广泛地应用于线位移和角位移的自动测量中,并已伸展到诸如运动链比较、机械振动、变形测定,表面轮廊以及......
本文介绍的智能化非接触二维测量系统是一个利用线阵CCD器件、计量圆光栅与计算机结合构成的光机电一体化测量系统。本系统能自动......
该文介绍了一种高精度、低成本的通用型长光栅动态检测系统的工作原理、系统结构、硬件电路、测量软件设计以及实验结果与分析。该......
该文主要介绍了用逐步扫描方式检测刻线线宽。它以线阵CCD为工具，以计量光栅作基准，通过计算机采集，用空间拟合函数法计算处理后，自动......
该文介绍了一种以单片机为基础的智能光栅测量线路，它在单片机中进行软件细分，细分分辨率高，细分数能随光栅尺精度的不同，通过改变软件......
分析了零位光栅设计要求，各参数间的关系。在此基础上得出了零位光栅设计准则及优化设计数学模型。并指出其设计问题属大范围。离散......
