【摘 要】
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光刻复制计量仪器的线性光栅多以金属铬膜做为光栅刻线,该膜具有良好的机械强度和化学稳定性。因此,也较普遍地用作各种分划图案的刻线。铬膜的反射率为55%左右,这种反射性
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光刻复制计量仪器的线性光栅多以金属铬膜做为光栅刻线,该膜具有良好的机械强度和化学稳定性。因此,也较普遍地用作各种分划图案的刻线。铬膜的反射率为55%左右,这种反射性能,对用于一般仪器的分划元件并无有害影响,而对用作自动化测量仪器的分划元件,却是一种极为有害的弊病以金属铬膜制造的
Lithography replicating measurement of linear gratings and more metal chrome film grating as a grating, the film has good mechanical strength and chemical stability. Therefore, it is also more commonly used as a reticle for various kinds of divided patterns. The reflectance of chrome film is about 55%. This reflection performance has no detrimental effect on the division of components used in general instruments. However, it is an extremely harmful drawback to the division of components used as automated measuring instruments. Metallic chromium film manufacturing
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