焦深相关论文
光刻技术中的聚焦控制对曝光质量有直接的影响。曝光过程中，为保证良率，曝光区域需要时刻处于焦深范围内。通过建立数学模型，探讨了光......
随着信息化的进步,由于传统的光子学器件受到衍射极限的限制,信息传输质量不佳,人们开始走向了基于广义光学折反射定律的超表面的......
基于自行设计搭建的远程激光诱导击穿光谱(LIBS)系统,完成了远程LIBS的聚焦特性分析,并对远程LIBS技术应用于镍基高温合金成分分析......
高倍显微镜的使用是高中生物核心实验能力之一,对高倍显微镜的高倍镜、准焦螺旋等的使用规范及其原理进行深入分析探讨,可以帮助广......
提出了一种具有增大焦深特性的改进型分形波带片(FZP)。分析并推导了改进型分形波带片基于优化参数w的周期公式；计算了改进型分形波......
采用同轴数字全息技术测量研究粒子场, 由于直透光、孪生像等因素的影响, 以及焦深(DOF)通常是粒子直径的数十倍以上, 造成了粒子......
为了研究空间光调制器加载菲涅尔透镜的性能,文中在分析了空间光调制器加载菲涅尔透镜位相调制灰度图的原理基础上,计算了所加载菲......
数字微镜器件(DMD)应用于会聚成像光路中时,其表面微镜绕各自旋转轴做偏转运动,且微镜相对平面反射镜呈非连续分布,这导致了经过DM......
基于光学传输矩阵实现透过散射介质进行聚焦和成像是近年来光学领域的研究热点。为了测量得到散射介质的光学传输矩阵，并利用光学传......
变焦光学系统在连续变焦过程中, 由于变焦曲线的计算和加工精度, 导致实际像面离焦, 成像质量下降。变焦系统的特点是长焦距对应窄......
目的 探讨白内障联合人工晶状体(IOL)植入术后全眼球差对焦深及客观视觉质量的影响.方法 回顾性病例研究.收集2011年9月至2012年3......
X射线光源的焦斑尺寸和焦深对X射线光谱学,尤其是对于微区X射线衍射与荧光分析等领域十分重要的参数。如何高效而准确的表征这些参......
期刊
基于霍普金斯（Ｈｏｐｋｉｎｓ）理论，通过计算０．３５μｍ方孔的传统透射掩模、边缘相移掩模部分边缘相移掩模、辅助相移掩模以及衰减相移掩模的硅片表面空间像......
为了提高近场固体浸没透镜（SIL）光存储系统的焦深，设计了五区振幅-相位杂化的滤波器。设计建立在矢量衍射理论基础上，应用MATLAB优化工......
一、引言随着大规模集成电路(LSI)向着超大规模集成电路(VLSI)发展,即要求每一基片上集成十万个元件以上、一万门电路以上,对图象......
本专利阐述一种结构新颖的光学条码扫描器,并介绍了扫描方法。这种扫描器采用扩展焦深的方法实现扫描条码。这种多焦长光
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据《国际半导体》杂志（英文）1995年第8期报道，索尼公司已开发成功一种能用于0．18μml艺的光刻技术。在最近几年，为了大规模高密度单芯片......
不用离轴滤波器增大焦深的新型曝光方法已研制成功，为ＫｒＦ（２４８ｎｍ）准分子激光光刻技术生产第二代６４ＭＤＲＡＭ器件增添了活力。用这种新方法制作０．３５μｍ的Ｘ、Ｙ向及斜......
聚焦对投影光刻系统（如步进机）的影响是了解及控制光刻工艺的关键因素。随着特征尺寸的减小，它对聚焦误差的灵敏度迅速升高。因此，许多......
通过对接近式光刻中光通过掩模版后的近场衍射特性的计算机模拟分析和曝光实验，提出了一种新型的接近式衍射缩小曝光方法，适用于紫外......
本文用部分相干光成像理论研究了提高分辨力及增大焦深的原理．建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟......
叙述了一种根据空间像匹配原理，进行光学邻近效应校正（ＯＰＣ）的实用方法。此方法采用了三种超高分辨率图形技术：散射条，抗散射条和修饰图形。......
采用部分相干成象理论对二元光栅照明进行了较为详细的研究。分析了二元光栅照明对分辨力、焦深、照明能量和照明均匀性的影响，并通......
焦深大小将直接影响激光光刻加工的最细线宽和线条的边缘倾角从而影响被加工器件性能．传统的几何光学焦深概念对有光刻胶存在时的激......
1 引言 在集成电路的开发生产中 ,工艺代是按光刻的最小特征尺寸来定义的 ,例如“0 5 μｍ工艺”。人们公认光学光刻是制约提高......
Nikon Corp.在2006年Semicon Japan贸易展中宣布其193nm ArF浸没式光刻系统NSR-S610C的成像性能已达到了39nm L/S(line/space),数......
蚀坑分析技术是从金相分析中所发展起来的一种结晶学分析技术。由于扫描电镜比光学显微镜具有大得多的焦深和高得多的分辨率,更能......
用矢量衍射方法分析了线偏振光入射到带有三环位相型光瞳滤波器的高数值孔径物镜时,焦点的轴向和横向光强分布.数值模拟结果表明,......
光瞳滤波器是一种重要的调控焦点处光强分布的器件。借助光的标量衍射理论,研究了不同的入射光场分布对超分辨光瞳滤波器的超分辨......
目的探讨使用iTrace视觉功能分析仪测量白内障患者术前角膜球差，根据角膜球差进行合理分组，选择适合的非球面人工晶状体（IOL）植入，使得......
全息三维显示使用计算机编码技术,对三维物体信息进行编码,然后加载到相应的显示器件显示三维物体信息,作为一种真三维显示技术,近......
目的:介绍作者所在的实验中心近年来对于黄斑区和近周边视网膜区(≤8 °)模糊认知感的研究结果.方法和结果:先后介绍三个实验.实验......
扫描电子显微镜(以下简称扫描电镜)在建筑材料研究中的应用正日益受到人们的重视。这主要因为扫描电镜具有一般光学显微镜和透射......
以前的光学系统都是以横向成像来提高分辨率的。但是,最近都开始使用焦深深的透镜或者付里叶变换透镜那样两个成像面的,纵向成像......
在近代电子工业中,用光学投影法制作微米或亚微米图形时,要求感光材料层与投影镜头之间相对距离的偏差(焦深精度)在±1微米以内。......
菲利浦研究实验室已经为电子透镜的设计研究出了计算程序。几年来,马拉德公司(Mullard Mitcham)一直使用这些程序来设计新型的象增......
本文扼要地阐述了一种既能提高显微镜的分辨本领又能延拓其焦深的新方法——编码源法,并给出理论依据和实验结果,实验证明:这种方......
一、立体图像的概念: 在扫描电镜下观察到的二次电子图像,能显示样品表面的形貌,由于其焦深较大,并根据图像中某些结构遮档显示的......
本文介绍一个数值孔径0.4、视场10×10mm~2可用于1:1分步投影光刻机的镜头的光学设计及其模型实验结果.光学设计在Wynne-Dyson的1:......
光学显微镜在综合大学和师范院校生物系及农、林、医院校中,使用非常广泛。其一般使用方法为人们所熟知,但在使用时,显微镜是否处......
本文介绍一种利用CCD器件和微机控制实现自动调焦的新原理,以及对用此原理研制成的自动调焦系统进行实验的结果。
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