激光直写技术相关论文
太赫兹（terahertz,THz）波是介于微波波段与红外波段之间的电磁波,由于其在电磁波波谱中所处的特殊位置,太赫兹波在高频通信、天文遥......
用电子束逐行扫描方法刻蚀衍射光学元件的浮雕结构精度高而速度低。提出了一种采用逐点激光直写浮雕位相结构方法来产生具有隐形图......
涡旋光束具有螺旋型的波前相位且能够携带轨道角动量，尤其是完美涡旋光束，其亮环半径不随拓扑荷数的变化而变化，在粒子操控、光学通信......
光纤光栅是应用领域最为广泛的一类光纤传感器件。以光纤Bragg光栅(FBG)为主的光纤光栅传感器具有体积小、易集成和埋藏、分辨率和......
目前,能源短缺已成为世界难题,其引发的问题接踵而至,如何减少执行器的使用或使其不使用能源被越来越多的科研工作者所关注,由此自......
激光直写技术(LDW)是当前数字化微纳加工的主要技术之一,其中喷墨打印技术以其分辨率高和控制灵活等优点被广泛应用.随着功能化材......
本文归纳和总结了目前用于曲面基底衍射光学元件的加工技术。首先对现有的主要技术进行了分类，并简要介绍了激光直写技术和软光......
加工设计了大尺寸非球面微透镜对垂直腔面发射半导体激光器光束整形。飞秒激光直写技术能够实现在三维平面内高精度微纳米量级......
随着光电子器件、平板显示器和激光全息行业的快速发展和技术进步，激光直写技术已成为了一种先进的光学加工技术，在诸多领域已有了广......
石墨烯自2004年发现以来，以其优异的机械、热学、光学和电学特性引起了从基础物理到新型材料应用等领域的广泛研究兴趣。到目前为止......
该文氧气浓度光纤气敏传感器的研究与开发为内容,力图开发高灵敏度,工作稳定,反应快速有效的光纤气敏传感器,并对气敏传感器中微弱......
金属薄膜在MEMS设备制造,航空航天,半导体加工等众多领域均有广泛的应用。在金属薄膜上制作微结构的方法很多,本文针对使用激光直......
激光直写技术是制作二元光学元件的一种重要方法。在制作过程中,用于刻蚀的激光,其功率的稳定程度对于加工元件的质量十分重要。然......
激光直写技术随着大规模集成电路的发展而于20世纪80年代中期提出，发展历史虽不长却取得了长足的进步，各发达国家都对激光直写技术进......
随着柔性电子学的发展和人们对柔性电子设备越来越迫切的需求，探索在柔性基底上制备金属器件并研究其性能是满足未来市场和社会对柔......
采用激光全息光刻技术或激光直写技术制作微结构具有便捷、灵活、高效等优势,目前已成为研究制备光子晶体的一种有效方法。用全息......
固态量子存储器可有效减少信道损耗、拓展量子网络工作距离,是构建大尺度量子网络的关键核心器件。近日,中国科学技术大学李传锋、......
激光直写技术(LDW)是当前数字化微纳加工的主要技术之一,其中喷墨打印技术以其分辨率高和控制灵活等优点被广泛应用。随着功能化材......
太阳能电池薄膜在平板显示器的生产中得到大量应用。而这其中Indium Tin Oxide（ITO）薄膜是应用最广的透明半导体薄膜之一。本文主要......
采用直写ＡＳＩＣ技术能缩短产品的研制周期，降低研制成本，无风险地进行了批量生产，加快ＡＳＩＣ投放市场的速度。分析了直写ＡＳＩＣ技术的特点，介绍了激光直写......
简述了极坐标激光直写技术原理，并利用该技术研究了在铬板、光刻胶版表面制作微结构的工艺，制作了光栅、非涅耳透镜、曲面衍射透镜、......
激光直写技术广泛应用于半导体,PCB等电子制造和电子封装行业[1～3].文章介绍了利用激光直写技术在立体塑料表面烧蚀出线路图形,然后......
激光直写技术具有加工效率高、加工速度快、环境污染小等优点,近年来在国内的发展非常迅速。采用计算机操纵控制的激光直写技术,可......
光学可变图像因具有绚丽的色彩、丰富多变的光学效果，作为光学防伪科技产品的重要手段，已被广泛应用于货币、签证、ID卡、绝密文件以......
有机发光材料由于发光效率高、结构修饰性强、波长可调控范围广等优点,在固态照明,发光二极管,荧光传感和光学显示设备等领域有良......
石墨烯,单原子层厚度的二维碳晶体,自2004年被发现以来,在材料科学和现代物理学领域备受关注。它具有优异的电子学、光学、热力学......
受传统光学理论衍射极限的限制，利用普通光刻技术难以进行纳米尺度三维加工。理化所段宣明研究员研究组，自主研制成功“纳米光子学超......
针对目前二元光学元件掩模制作工艺过程的诸多不足,对连续型平面衍射聚光透镜掩模的激光直写制作工艺进行了研究.基于基尔霍夫标量......
纳米技术是目前世界上技术发展的前沿领域,它的进步给人们带来的新事物层出不穷。而纳米孔道由于其广泛的潜在应用,诸如DNA测序、......
有机电致发光器件(OLEDs)由于其在固态照明和全彩显示领域的潜在应用,以及其自身具有柔性,自发光,制备工艺简单,可实现大面积发光......
光刻技术是目前平面半导体器件加工制造中的重要技术之一。相比于传统掩膜光刻,激光直写技术拥有无需掩膜,加工灵活,对基底表面平......
