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纳米技术是目前世界上技术发展的前沿领域,它的进步给人们带来的新事物层出不穷。而纳米孔道由于其广泛的潜在应用,诸如DNA测序、生物大分子检测、纳米模板、颗粒物筛选、药物输送和多层互连等,具有重要的研究价值,已经成为学界研究的热门领域。纳米孔道结构分为纳米孔与纳米流道,两者结构类似,定位不同。前者更注重孔径大小,追求长度更短的孔道,后者孔径大小较大,但是需要较长的孔道,以及多种流道形状。从DNA测序技术来看,为了发展一种低成本、简单、快速、高吞吐量的DNA测序方法,纳米孔应运而生。纳米孔由于其孔径大小接近生物大分子,可以用于各类生物大分子的单分子监测,包括DNA,RNA,多肽,多糖等,并已经有了一些商用产品。纳米流道则在药物输运,生物芯片,化学合成和多层互连等领域有着许多研究成果。于是纳米孔道需要以条件更简单,更容易控制,更快速,更低成本的方法进行制备,才能在今后被广泛应用。本文主要结合现在已有的设备,比如PECVD,利用其沉积过程中孔洞截面形貌的变化,完成了对多孔状AAO薄膜上的纳米孔阵列的孔径控制。还结合理论仿真,对沉积缩孔方法的基本原理进行了研究,与实验结果相对照以验证仿真的正确性。另外还探究了较为新颖的技术,比如激光直写技术,实现了在SiO2-Sn-SiO2的三明治结构中的纳米流道的制备。首先,我们完成了基于PECVD的多孔状AAO薄膜孔径控制实验,主要研究了PECVD沉积SiO2时对孔洞孔径的控制,以及孔洞截面形貌的影响。沉积实验过程中,研究了已有的PECVD沉积工艺参数的作用,包括反应时间、射频功率、气体流量、基板温度和压强等。其中最后沉积SiO2时,除了反应时间之外都是固定的,仅通过反应时间来控制AAO孔洞阵列的孔径大小。结果进行表征后通过统计拟合得到控制曲线,并且通过理论分析与仿真,对孔洞截面形貌进行仿真,与实验结果相对比,验证了理论分析结果。其次,我们进行了基于激光直写技术的纳米流道制备实验,主要研究了激光直写技术在纳米流道制备中的使用。通过对激光直写原理的理解,制定了纳米流道制备方案。通过溅射、光刻、刻蚀等步骤后制备完成具有储液池的样品,再进行激光直写,形成了具有纳流道和储液池的样品。相较其他方法只能少量制备纳米孔道,这两种方法均可以快速的制备多个纳米孔或者纳米流道。这是这两种方法的一大特点。