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太阳能电池薄膜在平板显示器的生产中得到大量应用。而这其中Indium Tin Oxide（ITO）薄膜是应用最广的透明半导体薄膜之一。本文主要针对ITO薄膜在超短波激光烧蚀下的熔化规律进行研究。论文通过一系列激光实验，目的在于找出ITO薄膜在远红外激光下熔化现象的基本物理机制和熔蚀过程。经过实验，找出了在不同激光能量密度下，熔化阈值能量密度和熔化率，以及薄膜厚度与阈值能量密度之间的关系。