干涉仪测量相关论文
在极端条件下研究物质的状态方程在天文学、新材料科学、武器设计等多个领域有着非常重要的理论意义和广泛的应用前景。在利用强激......
拍频干涉法可用于纳米、亚纳米级精度的位移测量，其测量不确定度主要取决于单位频差─—位移当量的非线性。本文对影响非线性的因素......
ｉ线片子步进机正在逐渐成为主流的加工设备，用于实现亚半微米电路图形的转印。因此它就成为批量生产１６Ｍ位ＤＲＡＭ器件，且有可能成为在远紫外设备......
针对三站连续波干涉仪系统，根据实时测得的系统场区大气折射率漂移数据，应用几何光学方法，从理论上估计了连续波干涉仪系统两条微波基......
针对当前对脉冲激光波面半径测量缺乏有效的测试方法，提出了集大错位与等光程于一体的四平板剪切干涉法，达到对脉冲激光波面半径的高......
报道了用光纤马赫－陈德尔干涉仪测量载氢通信光纤在１９３ｕｍＡｒＦ准分子紫外激光辐照下光致折射率变化的过程，为进一步制作光纤光栅器件和分析光折......
运动目标空间位置激光跟踪测量是计量测试领域的前沿课题，该测量系统集激光干涉测距、光电检测、精密机械、计算机及控制系统和现代......
综述了被动毫米波成像技术发展动态，并对焦平面阵列和干涉仪合成阵列两种先进的成像体制进行了原理和系统分析，介绍了一种新型的８ｍｍ数字......
介绍一种以线性调频半导体激光为光源的衍射光栅干涉仪。激光与光栅上衍射的±１级衍射波会合，由于有光程差而发生光拍频，测量拍频信号......
本文报告亚微米光刻５倍ｇ线与ｉ线投影光刻物镜的光学制造技术。讨论超高精度要求的球面曲率半径、透镜中心厚度、球面面形与透镜偏心差......
法国高师、皮埃尔和玛丽·居里大学的研究人员报道了用激光冷却反射镜 ,可提高干涉仪测量精度。由固有热噪声导致的布朗运动是干涉......
介绍了双频激光干涉仪在机床检定中检定数控机床位置精度，检定直线度、垂直度和平面度的方法，还介绍了影响测量精度的因素。
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“测点组合法”是计算平面度误差的新方法,文章详细地讨论该法的计算原理,给出了该法的计算机程序框图,文章最后介绍一个测量、计......
一、现行评定方法存在的问题轴承行业乃至与轴承行业有关的其它行业普遍反映轴承特别是钢球的表面粗糙度评定方法不合理,不仅没有......
在神光Ⅲ原型激光装置上,利用自行研制的成像型任意反射面速度干涉仪(I-VISAR)对石英中冲击波速度进行了测量,获得了清晰的实验信......
针对已有线宽检测方法在窄线宽激光器测量中存在的缺陷,提出一种利用非平衡光纤干涉仪相位噪声测量并计算线宽的方法。理论分析了......
我们为超精密测量系统开发了一种新型主动隔振系统。它由三套三维激光干涉仪传感器及六组压电位移执行器组成，以限制空间运动的六个......
本文介绍了用迈克逊干涉仪测量液体折射率的方法，原理简单。在干涉仪导轨上平放一方形玻璃容器，内装待测液体，动镜铅垂地浸没在液体中......
一、前言近年来,干涉技术已不断扩大应用范围,测量超声换能器的声学数据和由它们产生的辐射图形以及显示生物体和物质组织。1974......
1979年9月11日至16日,国家计量总局在上海市召开了激光量块干涉仪国家鉴定会,来自全国41个单位的74名代表出席了会议。激光量块干......
美国标准局玻尔德研究所研制的一台地壳运动检测器(地震仪)(如简图所示),可用30米长的激光干涉仪测量出地球表面的微小振动。其灵......
一、引言现代的精密测长必须用干涉仪。常用的两种方法是干涉带计数法和小数重合法。前者能测几米以内的距离,但需要有精密移动反......
一、概述和技术要求在电子束曝光机中,激光干涉仪测量工件台的位置精度是获得高精度掩模版图形的重要环节。因此对激光定位干涉系......
光学零件表面正确性检验,在光学车间是一项大量的经常性的工作。所谓表面正确性,指被加工的光学零件表面与理论上所要求的表面形......
本文较通俗、系统地介绍了国内外用激光技术检测机床精度的概况、基本原理、测量布局和安装要点、误差分析、数据处理及自动测量实......
在美国伯克利的加利福尼亚大学,汤斯(C.Townes)和他的同事约翰逊(M.John-son)、贝茨(A.Betz)和盖尔豪斯(D.Gale-house)正在研制一......
锥体棱镜(角反射器)作为激光测距仪、红外测距仪的光学合作目标,和用作激光干涉仪的反射镜,越来越广泛地使用,以满足精密测距和测......
本文讨论用棱镜干涉仪(Twyman-Green 干涉仪)精确测量角度的原理、公式、方法及精度,并举出实例进行分析。讨论是以分析锥体棱镜(......
一、引言由于近来精密机械技术的发展,具有微图形的商品和零件明显地增加。目前对微图形的测量,采用的是:1.触针式表面粗糙度测量......
近年来,澳大利亚计量研究所(NML)在激光及光电应用技术方面发展较快,本文就该实验室在这方面进行的项目作一简略介绍。1.偏振干涉......
一、前言测量加工面的表面性质有多种方法,其中包括视觉和触觉这样的直接感触。但是,测量超精密表面只有有限的几种方法。目前,用......
一、前言近十几年来,集成电路的发展十分迅速,组装用的集成电路的尺寸稳定而迅速变小。生产这种超大规模集成电路,需要在一块硅片......
由于双镜激光干涉仪比马赫-陈干涉仪有许多优点,本文应用双镜干涉仪测量了空气变形丝喷咀的超音速气流的流场,得到了满意的结果。
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按惯例采用表面干涉仪测量平面度偏差。但当待测件严重变形时,会出现大量干涉条纹及封闭干涉环(图1～2),用干涉测量进行定量分类是......
国际光学会议(ICO)的第十三届大会于1984年8月20日至8月24日在日本北海道扎幌市举行,到会人数664人,其巾日本400人,我国有27人参......
本文论述用横向剪切干涉仪精确测量光学非球面波象差的方法。用计算机控制干涉相位测量技术,可进行高精度的检测和实时数据分析。......
本文首先扼要地阐述了作为电子束曝光机主要组成部分的工件台系统的功能要求,分析了影响工件台位移测量精度的各种因素并进行了粗......
一、引言新墨西哥州阿布珂奎空军武器实验室发展了一种计算机控制的数字式外差干涉仪(以下简称 DHI)。它具有自适应光学控制和闭......
本文讨论了在光纤速度干涉仪中,光源频率漂移对测量精度的影响,认为当被测物体速度变化较大时,光源可以不采取稳频措施。这对于要......
文中概述了系统结构设计的误差分析,阐明了主要设计思想和结构特点,介绍了整机概况和操作控制原理。最后列出了所达到的各项主要技......
