双频激光干涉仪相关论文
超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一,而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米......
随着工业制造、航空航天和基础建设等领域的技术进步,三维精密测量技术与仪器不断发展与创新。从传统的三坐标测量机、经纬仪等到......
本文着重介绍了采用量块、双频激光干涉仪和多面棱体、光电自准直仪对三坐标测量机及配套光学转台在校准过程中因各项标准设备引入......
本文介绍了精密工件台在电子束曝光机中的主要作用及其构成;阐述了精密工件台在材料、导向、驱动、控制、测量、真空密封等方面所......
数字水准仪的出现解决了大地测量仪器中水准仪数字化读数的难题,对当代测量技术产生了积极的影响.本文简要介绍了如何采用双频激光......
There is an increasing demand on the measurable velocity of laser interferometer in manufacturing technologies. The maxi......
为了有效开展长距离光电测距类仪器的室内检定工作,在50 m高精度导轨上利用1组平面反射镜进行光路折叠,搭建了100 m室内基线场。对......
本文提出一种双频激光三尺组合法直线度测量系统。理论分析及实验结果都说明本系统可望获得优于0.1μm/m的精度,是提高现有直线度......
介绍一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作方法类似一精密测距仪。它采用了一稳频双纵模激光作为光源......
介绍一种双纵模激光器的稳频装置原理及其电源电路。对稳频机理进行了理论分析,并说明具体调整方法。该光源采用新的热稳频原理,在普......
提出一种检测电力机车电机换向器变形量的新方案 ,在防振平台上安装双频激光干涉仪、过零发讯传感器、截面位置限位开关和高精度导......
让双频激光干涉仪的激光束照射一个侧面带有十字线的三面直角棱镜 (固定于运动目标 ) ,反射到CCD上成象 ,以测量目标的六自由度位......
介绍了双频激光干涉仪在机床检定中检定数控机床位置精度,检定直线度、垂直度和平面度的方法,还介绍了影响测量精度的因素。
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我所研制的3 m带型磁栅数显系统于 1980年通过了部级技术鉴定。在该项目的研制和而后的生产中,我们感到带型磁栅的主要优势在于带......
简介美国HP5528A双频激光测量系统的原理结构、测量功能和精度。着重介绍该系统在评定、研究数控电火花线切割机位置精度中的应用......
在精密测量领域,HeNe激光器是制造激光干涉仪的首选.但能够产生中频差4—40 MHz的双折射-塞曼双频HeNe激光器的频差是随机的,小到......
线位移传感器作为尺寸测量仪器广泛应用于航空航天、军工科研、民生基建等领域,具有响应速度快、量程范围广、测量精度高等特点。......
随着工业现代化高速发展,各种生产、科研对室内温湿度、洁净度、噪声、振动等空调技术提出了更严格的要求。例如现代计量仪表中测......
提出并论证了混合型声光调制器衍射光的衍射级次混叠特性, 它使衍射光强中存在着驱动频率的谐波项, 此外入射光束的漂移将引起衍射光......
提出一种基于概率统计原理的测量仪器细分方法,并分析了其基本规律和精度。该方法适用于可将被测物理量转换为电量的多种量仪;能取代......
为了使双频激光干涉仪的高精度和可靠性能够在当前急需解决的大尺寸高精度同轴度、直线度测量方面有效的发挥出来,有必要在双频激光......
本文论述了三维精度的概念和它在机床和仪器上的测量方法。文中并提出了影响三维误差的主要因素和用计算机存贮器和校正尺补偿三维......
75年4月,我们承担了双频激光干涉仪的研制任务。在下厂调研中我们了解到,在毛主席革命路线指引下,我国社会主义建设事业突飞猛进,......
一、引言中国计量科学研究院和陕西机械学院研制的双频激光干涉仪最近在北京进行了鉴定。与会者一致赞扬这是一项在毛泽东思想指......
进行多座标(如三座标)测量时,一般都必须在每个座标轴方向单独安装一套作为测量基准的传感系统。本文介绍了双频激光干涉的工作原......
激光在长度测量中的应用,开拓了大量程、高精度测量的途径。为了保证激光波长的稳定,必须采取稳定频率的措施,因为这是决定测量精......
双频激光干涉仪是激光干涉仪的一种,主要用于大长度精密测量,例如:1.可作为大长度的自然计量基准以代替现行的三米杆尺实物计量基......
前言自1960年气体激光的出现和随后激光器件研制的进展有可能直接采用光波波长作为长度测量的标尺,满足生产和科学研究对长度测量......
一、前言自一九六○年气体激光出现以来,激光技术得到不断发展,激光波长已作为长度计量的标准。单频和双频激光干涉仪相继问世。......
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本文介绍了一种用于高精度测量图案棱边直线性的装置。它由一个气浮导轨工作台、一台光电显微镜和两台双频激光干涉仪组成,一块高......
本文介绍了一种新型的全自动光电光栅精密螺距测量仪器。它利用双频激光干涉仪对粗光栅测量系统进行一次性标定,并借助于微计算机......
本文介绍一种以双频激光干涉仪为主体,配以一些夹具,组成了大卡尺的检定装置。该方法利用光波波长作为长度基准。在测量过程中,采......
本文阐述了微电脑双频激光干涉仪(MDFLI)的原理、功能,以及根据测量条件修正激光波长的方法;介绍了专用微型计算机的结构和支持各......
北京市机电研究院,1995~1997年连续3年名列国内数控加工中心机床销量第一,1997年被列为国家4个数控机床产业化基地之一。北京市机电研究院(以下简称机......
自我国第一台双频激光干涉仪于1976年研制成功以来,相继有科研、高等院校和工厂等近十个单位做了进一步研究和改进,并有小批量生......
本文介绍了一种双纵模双频激光干涉仪的原理,结构及激光光源采用的热稳频原理。激光源采用热稳频方法,不使用压电晶体也不用线膨胀......
本文介绍一种工件表面直线度误差的高准确度测量原理。它的特点是:通过测量两个已知距离的固定原点分别到工件表面的距离来求得工......
利用红外拍波干涉仪验证了用于无导轨大长度测量的3.39μm波段双线He-Ne激光两级合成波长组成方案。文中介绍了该合成成长组成方案......
三、美国ZYGO公司ZYGO公司位于纽约附近的Middlefield,该公司有约200名雇员。过去是以光学件加工为主的工厂,有雄厚的光学零件加......
本文介绍了一种新型的双纵模双频激光干涉仪,由于采用热稳频,延迟线移相等关键技术,使得干涉仪具有结构简单,成本低廉,动态性能好,......