离子束抛光相关论文
随着现代光学系统性能的日益发展,空间目标识别、激光物理聚变、国防武器装备以及紫外和深紫外光刻等技术对超精密光学器件的要求......
针对离轴抛物面镜离子束修形过程中存在的热效应累积和迭代加工效率问题，提出了将总去除量按一定比例划分的分批次加工与变束径加工......
随着高新技术的快速发展，对应用于精密制造业的硬脆材料表面质量提出了越来越高的要求，传统的加工方法难以达到理想的表面精度。超精......
电化学抛光具有效率高、成本低、抛光效果好的特点,是钛合金的常用表面抛光方法,广泛应用在生物医用钛合金的表面处理。本文采用电......
随着光学领域在科技发展进程中逐渐被受到重视,各行各业对光学系统及器件的需求也日益增多,光学系统的质量也随着现代光学制造技术......
研究了Ar离子束刻蚀方式、离子束能量、刻蚀时间对抛光金刚石薄膜的影响.采用原子力显微镜观察抛光前后金刚石薄膜表面形貌、测试......
离子束抛光是一种非接触式、确定性加工方法，在精密光学元件面形精修过程中得到越来越广泛的应用。实验研究了Nd：YAG激光晶体的离子......
会议
本文主要研究超精密光学材料表面离子束抛光工艺技术,在分析研究法拉第扫描的离子束电流密度分布参数与去除函数之间关系的基础上,......
为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出离子束去除函数。以去除函数的方均根(RMS)为分析对象,分析不同叠加间距下离子束等量去除......
为了研制出高质量光学表面的离轴非球面碳化硅反射镜，提出一套包括铣磨成型、研磨、粗抛光、表面改性以及精密抛光等工序的完备的离......
超光滑光学表面广泛地应用在短波段光学领域,如同步辐射光束线的反射镜、软X射线波段的多层膜基底等.其表面的粗糙度通常要求小于0......
介绍了用离子束抛光法获得硅的超光滑表面的方法，并给出了不同抛光条件下表面粗糙度的原子力显微镜（AFM）测量结果，其中最好的表面粗糙......
用于揭示晶体材料微区结构与取向(差)的电子背散射衍射(EBSD Electron-Back-Scattering-Diffraction)技术于上世纪90年代初成功地......
在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,通常需要对原始面形误差数据进行边缘虚拟延展。要求原始面......
随着科学技术不断地发展进步,光学、微电子、天文学等领域的研究工作对超光滑表面的需求量日益增加,对关键零部件表面的面形精度亦......
随着现代光学元件制造技术的不断发展和社会需求的日渐提升,无论是以强激光、短波光学为代表的工程光学,还是以大规模集成电路为代......
单晶硅反射镜是高能激光系统中的重要元件,其加工质量直接影响着高能激光系统的整体性能指标.针对单晶硅反射镜加工过程中产生的各......
超导纳米线在各类超导热响应探测器中得到广泛应用。超导纳米线响应光子后由超导态转变为电阻态产生热效应是这类探测器的关键机制......
具有耐腐蚀、热膨胀系数低等诸多优良物理化学特性的石英玻璃在高性能光学系统中被广泛使用。其要求元件达到纳米级的表面粗糙度,......
综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素，对重要因素目前的研究进展进行了分析；介绍了新型超精密光学抛光技术及其达到的水平；还提......
一、前言非球面透镜离子束抛光法是把氩(Ar)、氪(ke)、氙(Xe)等不活性气体原子在真空中(真空度10~(-2))用高频或放电等方法使之离......
介绍了复制成型法、离子束抛光法、计算机控制光学表面成形法三种非球面光学元件的加工方法及各自的特点,并展望了非球面光学元件......
离子束具有加工精度高、可控性好、加工面洁净无污染等优点,利用其加工超光滑光学元件可避免传统机械加工方法所带来的亚表面损伤.......
在光学离子束抛光工艺中,驻留时间求解是一个关键问题.多数驻留时间求解算法要求离子束在工件表面的材料去除速率在加工过程中保持......
从理论上建立了离子束抛光中切向定位误差对加工残差影响的模型,分析发现了该误差对加工残差的影响与面形的梯度有关。特别地分析......
在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,需要对原始面形误差数据进行有界光滑延展。推导并提出了一......
根据自行研制的法拉第杯对离子束抛光(IBF)机床中离子束束流密度进行检测,通过束流密度检测实验与去除函数实验的对比,验证了该法......
本文介绍了射频（Radio frequency,RF）感应耦合等离子体（Inductive couple plasma, ICP）离子束源的设计研究。该射频离子束源可工作于Ar......
离子束抛光技术的关键在于对驻留时间进行求解，通常通过反卷积运算来完成。这在理论上可以实现，但是当需要加工量很小或趋于零时，加工......
为了研究离子束抛光KDP晶体工艺参数对表面粗糙度的影响,实现对KDP晶体的抛光,文中使用微波离子源对KDP晶体进行抛光加工,采用非接......
本文报道了用原子力显微镜（ＡＦＭ）研究多种Ａｒ＾＋离子抛光参数Ｓｉ（１１１）表面的微观粗糙度和三维微观形貌特征，发现用于离子束抛光方法可以显著地改善硅片表......
为了获得超光滑光学表面,介绍了离子束作用下改善表面粗糙度的抛光方法,并通过相关的实验进行了验证。光学材料是典型的硬脆材料,......
在离子束抛光设备研制过程中,离子源扫描运动方式的选择是很关键的,一般分为直角坐标方式扫描和极坐标方式扫描两种。根据两种扫描......
在离子束抛光工艺中,驻留时间的求解是很关键的。通常求解驻留时间的时候,是用理想的高斯函数来近似实际的加工函数。如果使用实际......
介绍了用离子束抛光法获得硅的超光滑表面的方法，并给出了不同抛光条件下表面粗糙的原子力显微镜（ＡＦＭ）测量结果，其中最好的表面粗糙度达０．１２ｎｍ（有......
【正】随着国防技术的不断发展,对光学零件的加工精度要求也越来越高,中等精度的光学零件已经不能满足国防领域的要求,如高精密的......
本文介绍了利用离子束抛光方法获得石英和单晶硅两种材料的超光滑表面，利用原子力显微镜（ＡＦＭ）进行该类表面微观形貌的测试工作。这种加工......
离子束加工技术是在计算机控制光学表面成形理论基础上利用离子束轰击光学元件表面的一种高精度抛光方法,具备精度高、零接触、零......
随着高技术光学装备性能的不断提升,光学系统对光学零件制造的面形精度和表面质量提出了更为苛刻的要求。应用于高功率激光系统的......
本文介绍了射频(Radiofrequency,RF)感应耦合等离子体(Inductivecoupleplasma,ICP)离子束源的设计研究。该射频离子束源可工作于Ar......
K9玻璃是常用的光学和微系统材料。随着光学和微系统技术的迅速发展，由于具有较低廉的价格、良好的微加工性能，在K9玻璃上制作微米、......
