面形精度相关论文
集成电路是当前全球关注的焦点,而光刻机是制造集成电路的核心设备,其发展水平直接制约着集成电路行业的发展。高端光刻机对其核心......
目的 为了提高非球面光学模具的表面质量和加工效率。方法 分析当前非球面超精密抛光方式及其特点，针对小口径非球面光学模具，提出一......
随着激光技术进一步成熟,激光发射系统朝向更大口径、更高功率、更复杂环境适应性发展,因此对其光学防护窗口的要求越来越高。其光......
反射镜支撑结构在折反与离轴反射式光学成像系统中起着举足轻重的作用,是高分辨率航空相机的关键部件,对光电成像系统的体积、重量......
光刻投影物镜中透物镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一,而支撑变形是影响面形精度的一个非常重要的因素.为提高大......
针对难切削材料小口径非球面模芯的超精密加工,从理论上分析了砂轮修整精度对非球面面彤精度的影响,在此基础上研制了三轴数控非球......
本文介绍了一种SiC材质的非回转对称非球面元件的加工和检测.本文提出了一种新的基于数字模板的非零位检测方法.即直接采用Zygo平......
针对某700mm口径高分辨率光学成像望远镜, 提出了一种结构设计方案。对主镜支撑采用9点whiffle-tree底支撑加球头芯轴侧支撑的结构......
The free surface and unrotational-symmetric surface optical elements have been applied more and more widely along with t......
一对多激光通信天线受结构和尺寸的限制,反射镜与安装平面只能单独研磨。虽然可根据面形测试结果对安装平面进行反复研磨,以保证摆......
A new removal optimization method called submerged jet polishing (SJP) is reported. Experiments are conducted to obtain ......
采用超精密车削加工的复杂曲面铝反射镜只能满足红外光学系统的应用需求,若要满足更高需求的应用场合,需要进一步提升反射镜面形精......
介绍一种采用新型抛光吸附垫进行粘接的加工方法,与传统采用火漆、沥青、蜡等作为粘接胶加热上盘方法相比,此法不仅操作简单方便、......
抛物面天线是空间飞行器的重要部件，由于使用的限制，它的面形精度要求很高，给制造带来很大难度。本文对卫星复合材料抛物面天线的结构......
为了解决大视场巡天望远镜中大口径透镜支撑问题,提出了一种双级柔性支撑结构,既可以保证透镜位置精度和面形精度,又能够克服镜框......
针对薄板玻璃的刚度差,在研磨中容易产生变形这一特点,提出了一种新的加工方法。以加工薄施密特校正板(厚径比小于1/40)为例,用传......
讨论了研制成功的用于高精度非球面检测的ＣＧＨ位相自动探测干涉系统。论述了ＣＧＨ干涉系统的光路和干涉场，采用位相自动探测术有效地降低了随......
为了实现光学元件的高精度加工,对离子束加工过程中关键的驻留时间求解算法进行了研究。通过分析离子束加工过程的基本原理,将传统......
一、前言精密仪器和设备转动部位都要有高精度的轴系。从当前发展趋势来看一些高精度的轴系都倾向于采用球形轴承。如英国的圆度......
本文通过优化晶体弯曲过程的旋转点 ,理论上分析了弧矢聚焦晶体弯曲原理、弯曲所造成的系统误差以及弯曲过程中晶体面形精度的变化......
深紫外光刻投影物镜光学系统对光学元件的面形精度要求极高，物镜中轴向调节机构调节力对光学元件面形的影响不可忽略。针对一种一体......
为使透镜的面形精度在复杂工作环境下满足光学系统要求,利用CAE设计了多透镜组镜头的透镜柔性支座结构,并对其几何位置进行参数优......
面形精度测量是射电望远镜建造与运行的关键技术之一,随着天线口径越来越大,微波全息测量已成为大型射电望远镜面形精度测量的常用......
大口径反射镜组件是实现ICF固体激光器打靶功能的关键性组件,它的主要作用是完成激光束的引导、传输和准直精度的调整。精密调整和......
非球面等光学元件具有诸多优良特性而一直是光学领域关注的重点,在军用装备、航空航天等领域均具有广泛的应用,进一步提高非球面光......
空间遥感技术在民生、航测、国防等方面扮演着日益重要的角色。随着对空间遥感技术要求的提高,空间遥感相机光机系统的光学元件在......
复制法制造光学零件有许多优点。首先,不论何种面形精度的平面、球面和非球面光学零件,在批量生产中,复制方法是一种成本较低的生......
本文介绍了复制空心型角反射器的工艺方法,说明了有关的准备工作、模具制造、角度和面形精度的测量及环境试验等。
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用复制技术制备磁钢基底反射镜,面形精度高,生产效率高,成本低,提高基底利用率,无锈腐。但其技术指标要求严,针对技术要求,对复制......
随着现代光学工业不断的发展,各种金属的平面镜和球面镜等也进入了光学领域。高速相机的平面转镜和天文望远镜的椭球面镜都得到了......
本文来自于作者的实践。介绍了加工方法及测量问题。重点叙述了加工中的一些关键,同时也提供了国内外在这方面的进展情况。
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本文指出了超薄形零件光圈变形的主要原因和研究了控制薄平面零件变形的几种方法。经过多年的努力，研制出了一种比较理想的粘结胶─......
本文介绍了在ＹＧ３６６高速抛光机上进行的透镜不胶盘单件抛光技术。这一新的抛光方法比弹性成盘法和刚性成盘法有许多优点：它省掉了许多辅助......
详细叙述了平面光学元件的全国着磨料高效加工的工艺过程和如何确定工艺技术参数。
Described in detail the planar optical com......
较全面地列举了国内外已实现光学器件非球曲面超精密加工的各种先进方法 ,并总结出了这些加工方法的优缺点 ,从这些加工方法中可得......
非球面曲面超精密复合加工系统是具备金刚石车削、铣削和磨削功能的CNC超精密加工系统,用于平面、球面及非球面光学零件的超精密加......
磁流变确定性修形具有高精度、高效率、高表面质量以及近零亚表面损伤的特点。介绍了磁流变修形技术的基本原理和方法,并对磁流变......
针对地平式望远镜消旋K镜系统中子反射镜支撑问题,设计了一种三点底支撑及芯轴侧支撑的联合支撑方法,并对该支撑结构展开了深入的......
分析了影响Ｒｉｔｃｈｅｙ－Ｃｈｒｅｔｉｅｎ光学系统中金属主反射镜面形精度因素，采用有限元法对主镜的加工过程及其安装进行了模拟。指出提高主镜的面形精度，既要合......
针对在现行球面光学零件加工的基本工序中存在的问题，提出了用轨迹成型法加工球面光学零件的新原理，并对其进行了深入研究。轨迹成型......
本文分析了轨迹成形法加工球面光学零件新原理机床的误差对零件面形精度的影响。
This article analyzes the trajectory shaping......
针对薄板玻璃刚度差，在研磨中易产生变形这一特点，探讨了减小其变形的不同方法。我们用传统的上盘法粘结固定工件进行加工，工件在下盘......
