氢等离子体相关论文
采用高H2稀释的SiH4等离子体放电,特别是甚高频等离子体增强化学气相沉积技术是当前高速制备优质微晶硅薄膜的主流方法.尽管在实验......
氢等离子体一般用直流、射频和微波等放电方式产生,已经被广泛用在等离子体化学气相沉积（CVD）、等离子体反应动力学及化学合成等研究......
随着第一张黑洞照片的问世,对黑洞阴影的相关理论研究变得非常重要。在广义相对论的理论框架下,对于史瓦西黑洞,Synge首先计算了阴......
低温等离子体作为一项新技术、新工艺,10余年来已受到人们的极大重视。其应用范围正在日益扩大,国内外对低温等离子体在纺织上的应......
肿瘤微创治疗是指与手术相比创伤小，痛苦轻的治疗方法。本文介绍了氢等离子体凝固术、冷冻治疗、内支架、光动力等气管镜下中央......
作者研究了过氧化氢气态等离子体灭活法灭活几种病毒的能力。用于实验的六种病毒包括:HIV病毒Ⅰ型、甲型肝炎病毒、呼吸道合胞病......
利用AC高压辉光放电产生氢等离子体,对多晶硅太阳电池进行氢钝化处理,使多晶硅太阳电池的短路电流(Isc)、开路电压(Voc)和填充因子......
利用高频感应热氢等离子体强化还原制备超细铜粉,考察了加料速率、还原氢气流量、氢气分布位置、反应区空间、冷却温度等因素对铜......
血液相容性是血液接触生物材料的一个关键问题,血液相容性的提高对生物材料的发展和应用至关重要。前期的研究表明,氧缺失Ti-O薄膜......
多晶硅薄膜由于具有较高的迁移率和较好的稳定性，近年来被广泛地应用于平板显示薄膜晶体管(TFT)的有源选址矩阵基板、高效长寿命薄......
循环稳定及高安全性是新能源领域亟待突破的关键技术，其中锂二次电池被视为最具发展潜力的储能体系之一。石墨作为广泛应用的商业化......
碳纳米管是理想的准一维纳米材料，有独特的结构、奇异的物理特性及化学性能，具有非常独特的电磁特性。碳纳米管氢等离子体材料对微波......
利用质量能量分析仪研究了微波电子回旋共振(ECR)氢等离子体的离子特征以及氢分子束流引入对离子特征的影响.在工作气压1 Pa的放电......
期刊
报道了一种新型PE-ALD工艺用于沉积碳化钴薄膜.以脒基钴为前驱体,在氢等离子体作用下,成功制备了碳化钴薄膜.薄膜厚度与沉积循环关......
利用三级差分抽气的分子束质谱装置,对短间隙纯氢异常辉光放电阴极鞘层区中Hn+ (n＝l～3)离子粒种及相对离子流强度与气压、放电电流的......
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......
期刊
以氯化镍（硝酸镍）和次磷酸铵（磷酸氢二铵）（Ni：P摩尔比为1）为原料,氢等离子体还原法（PR）制备高活性加氢脱硫Ni2P催化剂,新制备的催化剂在移入......
用水热法在石英玻璃衬底上制备出ZnO纳米棒，并对其进行氢等离子体处理。用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和光......
运用双流体理论,在同时考虑了单壁碳纳米管中氢等离子体的电子碰撞吸收和氢离子碰撞吸收的基础上,理论推导出了铁催化高压歧化生成......
在微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）装置中,氢气作为镀膜工艺中重要的参与气体,对镀膜工艺有直接的影响。在微波放电等离子体发生装......
针对低气压、弱电离条件下的氢气放电,建立了二维直流放电模型,建模中修正了有关文献中边界条件的不足,在阴极处,引入了金属电子溢......
针对GaAs和Al2O3作为外延GaN薄膜的主要衬底材料,采用电子回旋共振等离子体增强金属有机化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)工艺对其分别进......
用电化学腐蚀法制备了多孔硅(PS)，在氢等离子体气氛中不同温度下对多孔硅样品进行了退火处理，并进行了光致发光(PL)谱和原子力显微镜......
实现SiC器件欧姆接触常规工艺需要800—1200℃的高温退火。研究了n型4H-SiC低温制备Ti欧姆电极的工艺及其基本电学特性。通过氢等......
借助于霍尔效应、拉曼散射、光致发光及电致发光测试技术,研究了氢等离子体处理以及随后的高温退火过程对ZnO薄膜及ZnO纳米棒光学......
采用氢等离子体还原法制备了体相Ni2P,新鲜制备的Ni2P在移入固定床反应器之前用体积分数10%H2S/Ar钝化,以保护其结构不被破坏。实......
采用直接蒙特卡洛路径积分方法计算了稠密氢等离子体的物态方程.为了充分考虑电子的量子效应,以Kelbg势作为电子-电子,电子-离子相......
在2.45GHz,800W级的高气压微波等离子体放电系统中,通过测量不同微波功率和放电气压下氢等离子体的Balmer线系的发射光谱,从测量的......
针对HL-2M偏滤器等离子体对碳材料的侵蚀问题,通过使用直线等离子体装置(SCU-PSI)模拟偏滤器的工况以探究高通量氢等离子体对CX-20......
采用免焙烧的方法,直接将Ni（NO3）2和（NH4）2HPO4盐的前驱体,或是担载Ni（NO3）2和（NH4）2HPO4盐的前驱体通过氢等离子体法（PR）制备了Ni2P-NC-PR,N......
螺旋波等离子体源作为逐渐发展起来的低气压、高密度的新等离子体源,在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳......
运用双流体理论和唯象模型,导出了碳纳米管中氢等离子体的复介电常数和微波吸收系数,构建了铁催化高压歧化生成的碳纳米管中氢等离......
提出碳纳米管非均匀氢等离子体薄膜的层状介电模型,探讨等离子体密度分布对碳纳米管氢等离子体微波吸收的影响,运用转移矩阵法求解......
本文研究Zr薄膜在等离子体作用下的氢化特性.测试表明,与分子氢相比,氢等离子体作用下氢化速率明显增高,在室温和≈2Pa氢压的DC放......
强流ECR (Electron Cyclotron Resonance)离子源作为加速器系统的前端注入设备，其核心部件的设计是影响其工作性能以及产生束流品质......
在MPCVD装置中,通过调节微波功率和反应腔压强,使用高分辨率多道光谱仪采集氢气的Hα线.由谱线的多普勒展宽计算得到氢等离子体中......
用氢等离子体腐蚀了半导体材料(如:GaAs、GaSb、InP、Si等)及其氧化物和氮化硅的表面。采用光谱椭圆仪、俄歇波谱仪和扫描电子显微......
分别通过氢等离子体和水合肼对氧化石墨烯进行还原处理，制成两种不同的还原型氧化石墨烯。采用透射电子显微镜、X射线粉末衍射仪和......
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等离子体发射光谱是探究等离子体参数、等离子体基团分布的有效工具。本文利用发射光谱技术对压缩波导微波氢等离子体进行原位在线......
深入研究了外加磁场的方向对碳纳米管薄膜中氢等离子体电磁波衰减性能的影响。根据磁离子理论和W.K.B半经典近似法,理论推导了外加......
本实验利用2kW微波等离子体化学气相沉积(CVD)设备,系统探究了不同形核密度和氢等离子体处理对CVD金刚石膜沉积的影响。利用扫描电......
<正>韩国工业技术研究所(KITECH)已成功开发出钛回收技术,并于2013年12月3日将该技术转让给机加工企业Hansco。韩国一直是钛原料的......
目的研究热阴极直流放电氢等离子体中电子及活性粒子输运过程。方法Monte Carlo模拟方法。结果建立了电子及活性粒子在氢等离子体......
利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了氮化硼(BN)薄膜,红外光谱测试表明,所有样品为六角氮化硼(h-BN)结构.经过氢、氧等......
