【摘 要】
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利用质量能量分析仪研究了微波电子回旋共振(ECR)氢等离子体的离子特征以及氢分子束流引入对离子特征的影响.在工作气压1 Pa的放电条件下,探测到了H+、H+2和H+3三种氢离子,其
【机 构】
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中国科学技术大学近代物理系 合肥 230026
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利用质量能量分析仪研究了微波电子回旋共振(ECR)氢等离子体的离子特征以及氢分子束流引入对离子特征的影响.在工作气压1 Pa的放电条件下,探测到了H+、H+2和H+3三种氢离子,其中H+2为主要离子;随放电功率的增加,探测到的离子通量增加.维持氢气放电条件不变,在工作区引入微量的氢分子束流.在束流增加的初始阶段,电子-离子的复合反应增强,探测到的三种离子通量都减小;相对于高能离子,低能区的离子数显著减少;三种离子归一化后H+2相对含量增加,H+3相对含量减少,而H+的相对含量基本不变;相对含量的变化与不同离子-分子间碰撞的差异有关.随着氢气束流进一步增加,各种离子相对含量趋于稳定.
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