微加速度传感器相关论文
该文给出了将IC工艺与LIGA工艺相结合,在硅基材料上以镍金属为结构材料制作高性能微加速度传感器的研究结果。由于采用了金属材料,器......
在已有的工艺技术条件下,设计出能实现特定的应用目的MEMS器件并最终实现产业化,这是所有MEMS研究的出发点以及最终的目的所在。MEMG......
飞行器制导与控制、工业控制、汽车安全与导航、机器人、手机、医疗仪器及虚拟游戏机等领域均需要由加速度传感器和角速率传感......
介绍了微传感器近年来的发展和应用的情况,重点讨论了微传感器,特别是微加速度传感器、微压力传感器和微角速度传感器在国内外的......
本文概述了微角速度传感器(micro angular velocity sensor)的性能指标,如角速率偏置、角速率随机游走、角速率非线性等.详细地介绍......
基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的......
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该文报道了一种新型体硅结构谐振式微加速度传感器的设计与制作。该器件采和电阻热激振、压阻电桥同步检测的方法来获得信号输出,其......
微机械系统(MEMS)以其微型化、集成化等优点,在汽车工业、生物医学、信息、军事和航天工程等领域具有极为广泛的应用和广阔的前景。然......
本文提出了一种基于可变衍射光栅的微加速度传感器,从航空航天系统对加速度计高精度、小型化、高可靠性等方面要求出发设计,文中提......
微型加速度传感器是一种重要的惯性传感器,是惯性组合测量系统的基础元件之一。由于航空航天,各种机器人、工业自动控制、汽车以及......
采用MEMS技术制作的微加速度传感器因体积小、精度高、易于与CMOS实现的检测电路集成等优点而得到广泛的关注和研究。本文针对采用......
微加速度传感器作为一种惯性测量的基本器件,广泛的应用于汽车、自动控制、航空航天等多个领域,对它的研究由于微机械加工技术的发......
电容式硅微加速度传感器是一种重要的惯性传感器,是惯性测量组合系统的基础元件之一,在生产生活和军事武器中有着广泛的应用。它与......
电容式微机械加速度传感器是重要的惯性器件之一,具有体积小、成本低、功耗低等优点,在生产生活各个领域得到了广泛的应用。随着科......
微传感器是采用微米级的微电子和微机械加工制造技术制作而成的新型传感器,它具有体积小、重量轻、功能多、可靠性高以及易于实现......
微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传......
为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键......
研究基于加速度采集系统的无线输入设备,介绍了硬件系统的组成和工作原理,重点讨论了有限状态机FSM和COM组件软件技术的应用,用C++......
微电子机械,从广义上讲是指集微型机构、微型传感器、微型执行机构及信号处理和控制电路,以及接口、通讯和电源等于一体的几何尺寸不......
为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合......
介绍了一种新型的基于MEMS体硅加工工艺的L形梁压阻微加速度传感器。在加工过程中采用Si—Si直接键合完成底板与传感器支撑框体之......
设计了一种耐高温(400℃)、抗过载(20000gn)的SOI微加速度传感器的结构,介绍了传感器的制作工艺,并应用ANSYS软件对其进行了仿真,讨论了传......
设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围。设计方案合理应......
采用结构力学的力法,建立了求解交指式微结构加速度传感器刚度的力学模型。与材料力学方法相比,简化了推导过程,得到了便于微机计算的......
:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,......
微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感......
针对深沟槽内结构制作困难的问题,基于单晶硅各向异性腐蚀原理,推导了{100}单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀......
微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术,包括表面微加工技术和体微加工技术.其中体微加工技术是......
采用均匀化方法,以电容式微加速度传感器微结构的第一阶谐振频率为目标函数,以微结构的体积作为约束条件,建立了微结构的拓扑优化......
概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿......
获得精确的微机电系统模型是实现系统高精度控制的有提条件,但微系统某些固有特性给系统理论建模带来一定困难。本文以微加速度传感......
本文介绍了微加速度传感器的最新发展,单向微硅加速度传感器,三维集成微加速度传感器系统,微型集成惯性测量平台系统等。还介绍了......
对虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行进行了研究.此微加速度传感器采用悬臂梁式结构.论文分析了其静态特性和动态特性,建立......
微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数,目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给......
首先讨论一种磁流变(MRF)微加速度传感器的基本原理.其次研究这种磁流变微加速度计中的粱在电场力作用下的变形规律。进而得出加速......
本文首先阐述了电容式微加速度传感器的一般结构及系统建模方法,然后提出一种静电力反馈平衡控制电路,先通过高频调制信号产生检测电......
电容式微加速度传感器是一种硅微结构加速度传感器,以“叉指”或者“三明治”等方式形成差动电容结构,惯性质量块敏感加速度并转换为......
工艺特性在很大程度上决定了MEMS器件最终的功能特性。本文针对自主设计的二维微加速度传感器,在概念设计阶段定量分析了工艺特性......
为了解决AFM单独用于机械刻蚀加工存在的局限性以及加工过程中各种因素对加工结果的影响等问题,提出一种基于AFM的非硅工艺微结构......
阳极键合技术是指通过化学和物理作用将硅片与玻璃结构紧密地结合起来的一种半导体制造方法,具有键合温度低、键合界面牢固、长期......
通过采用结构力学的力法,建立了求解叉指式微结构加速度传感器刚度的力学模型,并得到了精确解。与材料力学方法相比,该模型推导过程简......
LIGA技术进展陈迪(上海交通大学信息存储研究中心)LIGA是德文Lithograpie,Galvanoformung和Abformung三个词的缩写,是由X光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的......
提出了一种基于微加速度计与微磁场强度传感器的空间笔迹检测系统,并对轨迹检测系统的算法进行了详细的描述。该系统可用于识别手......
扭摆式微加速率传感器是一种用于测量运动物体加速度的微型传感器,在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要......