微加速度传感器相关论文
在已有的工艺技术条件下，设计出能实现特定的应用目的MEMS器件并最终实现产业化，这是所有MEMS研究的出发点以及最终的目的所在。MEMG......
微机械系统（MEMS）以其微型化、集成化等优点，在汽车工业、生物医学、信息、军事和航天工程等领域具有极为广泛的应用和广阔的前景。然......
本文提出了一种基于可变衍射光栅的微加速度传感器,从航空航天系统对加速度计高精度、小型化、高可靠性等方面要求出发设计,文中提......
微型加速度传感器是一种重要的惯性传感器,是惯性组合测量系统的基础元件之一。由于航空航天,各种机器人、工业自动控制、汽车以及......
电容式硅微加速度传感器是一种重要的惯性传感器,是惯性测量组合系统的基础元件之一,在生产生活和军事武器中有着广泛的应用。它与......
电容式微机械加速度传感器是重要的惯性器件之一,具有体积小、成本低、功耗低等优点,在生产生活各个领域得到了广泛的应用。随着科......
微传感器是采用微米级的微电子和微机械加工制造技术制作而成的新型传感器,它具有体积小、重量轻、功能多、可靠性高以及易于实现......
微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传......
为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键......
介绍了一种新型的基于MEMS体硅加工工艺的L形梁压阻微加速度传感器。在加工过程中采用Si—Si直接键合完成底板与传感器支撑框体之......
设计了一种耐高温（400℃）、抗过载（20000gn）的SOI微加速度传感器的结构，介绍了传感器的制作工艺，并应用ANSYS软件对其进行了仿真，讨论了传......
设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围。设计方案合理应......
针对深沟槽内结构制作困难的问题,基于单晶硅各向异性腐蚀原理,推导了{100}单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀......
采用均匀化方法,以电容式微加速度传感器微结构的第一阶谐振频率为目标函数,以微结构的体积作为约束条件,建立了微结构的拓扑优化......
对虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行进行了研究.此微加速度传感器采用悬臂梁式结构.论文分析了其静态特性和动态特性,建立......
微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数，目前多采用有限元分析获取这一参数，但该方法难于给......
首先讨论一种磁流变(MRF)微加速度传感器的基本原理．其次研究这种磁流变微加速度计中的粱在电场力作用下的变形规律。进而得出加速......
工艺特性在很大程度上决定了MEMS器件最终的功能特性。本文针对自主设计的二维微加速度传感器,在概念设计阶段定量分析了工艺特性......
为了解决AFM单独用于机械刻蚀加工存在的局限性以及加工过程中各种因素对加工结果的影响等问题,提出一种基于AFM的非硅工艺微结构......
阳极键合技术是指通过化学和物理作用将硅片与玻璃结构紧密地结合起来的一种半导体制造方法,具有键合温度低、键合界面牢固、长期......
提出了一种基于微加速度计与微磁场强度传感器的空间笔迹检测系统,并对轨迹检测系统的算法进行了详细的描述。该系统可用于识别手......
侵彻武器引信系统是侵彻武器的重要组成部分，一般采用加速度传感器和微处理器技术。随着微机电系统(MEMS)技术和嵌入式系统技术的发......
用模态分析的理论和方法对离散的双岛五梁式微加速度传感器整体结构模型进行了动态响应仿真分析。根据设计需要，对结构施加了平峰阻......
为了实现微加速度传感器的批量标定,能够更加方便地进行多个传感器的性能测试。基于SolidWorks软件平台设计了一种可一次进行多只......
介绍了一种新型的电容式微加速度传感器的信号处理电路,可以用来检测电容式微加速度传感器敏感的加速度.该电路采用电荷敏感原理,......
给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型，然后分析了......
提出了一种基于微加速度传感器与微角速度传感器的空间笔迹检测系统，并对轨迹检测系统的算法进行了描述。手写动态采集系统使用安装......
静态误差广泛存在于各种加速度传感器的应用中,对于误差的标定非常重要。本文介绍了电容式加速度传感器的结构,并分析其工作原理。......
文章利用ANSYS软件对悬臂梁式硅微加速度传感器敏感芯片进行了设计仿真,给出了一种能满足:量程50g,精度10-3要求的硅微加速度传感......
研究基于微加速度传感器的无线鼠标的设计,讨论了MEMS无线鼠标的软件、硬件设计和系统组成,给出了M atlab环境下系统的模型和算法......
鼠标是人们日常使用的电脑外设,其技术的发展备受瞩目。传统的鼠标有机械鼠标和光电鼠标两种,它们都依赖于在平面上工作来感知位移......
微机电系统(MEMS)是面向21世纪的高新科技,涉及到电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科,MEMS在21......
微电子机械系统(Micro Electronic Mechanical System)采用与集成电路技术兼容的加工技术制造出尺寸达到微米甚至纳米量级的机械。......
:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,......
本论文结合国家“863”计划课题“航天装置元器件多参数综合可靠性加速试验环境的研究”,对动力学综合环境试验中的若干理论及技术......
微加速度传感器是MEMS的重要研究领域之一,在工业控制、环境监控、汽车系统以及生物医疗诊断等众多领域有着广泛的应用。电容式微......
研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器，对其结构和工艺进行设计，并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件。该加速度传感器在制......
阐述了倾角传感器的应用领域及应用要求,指出了目前倾角传感器存在的问题。分析了倾角传感器的测量原理和计算方法,提出了一种角度......
