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微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数,目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式。针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器,提出综合运用力法和能量法原理求解其主轴刚度,并通过仿真分析验证了理论推导,理论计算与仿真分析的结果有较好的一致性。该方法可推广应用于具有对称、静不定微结构的加速度传感器的刚度分析。