气体团簇离子束相关论文
本研究提出采用两种不同的离子剂量比的气体团簇离子束多级能量模式来改善n-Si(100)单晶片的创伤表面.模式一采用低剂量的高能量团......
本文提出采用气体团簇离子束的两步能量修形法来改善4H-SiC(1000)晶片表面形貌.先用15 keV的高能Ar团簇离子进行整体修形,再用5 ke......
一个电荷量的团簇离子,比如Ar+n.当团簇离子与固体材料相互作用时,由于平均每个原子携带的能量(～eV)根据超声膨胀原理,n(10—104)个......
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根据超声膨胀原理,n(10-10^4)个气体原子可以绝热冷却后凝聚在一起形成团簇,经过离化后,形成带一个电荷量的团簇离子,比如Arn^+.当......
