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研究了一种去除碲镉汞液相外延（LPE）薄膜材料表面波纹的方法。器件结果显示,利用该方法可以有效去除碲镉汞薄膜材料表面的波纹,获得较好的平坦化表面,提高了大面积红外焦平面器件芯片工艺和互连效果。
化合物半导体材料碲镉汞表面平坦化方法研究
【摘 要】
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研究了一种去除碲镉汞液相外延（LPE）薄膜材料表面波纹的方法。器件结果显示,利用该方法可以有效去除碲镉汞薄膜材料表面的波纹,获得较好的平坦化表面,提高了大面积红外焦平面器
【机 构】
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华北光电技术研究所,73061部队
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2012年7期
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