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用原子力显微镜测量了气体离化团束照射后表现粗糙度的变化。已经证实气体团束轰击对表面沾污具有很高的清除率，同时却引起较低的损伤。气体离化团束优良的平坦化和清洁化效果可能与照射中多体碰撞、侧向溅射及高能量密度的沉积相关。
气体离化团束对表面的平坦化及清洁化效果
【摘 要】
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用原子力显微镜测量了气体离化团束照射后表现粗糙度的变化。已经证实气体团束轰击对表面沾污具有很高的清除率，同时却引起较低的损伤。气体离化团束优良的平坦化和清洁化效果
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系,日本京都大学离子束工学实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1997年4期
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