微动工作台相关论文
研究开发了一种用于光学调整的二维压电驱动的纳米级微动工作台,建立了工作台的力学模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿X、Y方......
依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具......
六自由度微动工作台为纳米三坐标测量机的重要部件,用于实现工件的精密定位和空间综合误差的硬件修正.本文简介了微动工作台微型化......
微动工作台是微机电系统技术研究的关键之一。本论文主要针对磁悬浮式微动工作台的驱动和测量方法展开研究。通过驱动才能给微动工......
该文主要针对薄膜材料硬度的测试,研制一种双足式大行程双向微动工作台及其控制检测系统.该文创造性地提出了双足式移动原理,即模......
随着半导体集成技术,微电子技术等的不断发展,对精密定位技术的要求越来越高。本文对精密定位技术进行了深入研究,设计了一种低输......
在超精密加工、微电子工程、纳米科技等精密工程领域，需要高精密的微运动，因此高性能的微动工作台是这些领域中的重要仪器设备。论文......
磁控型形状记忆合金(Magnetic Shape Memory Alloy, MSMA)是直到1993年才被发现的具有形状记忆功能的智能合金材料,具有磁场驱动下......
X射线干涉测量技术以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位实现微位移测量,是国际 上先进的具有原子尺度分辨率的纳米测量技术.在对X......
六自由度微动工作台为纳米三坐标测量机的重要部件，用于实现工件的精密定位和空间综合误差的硬件修正，要求能实现六自由度的运动且具......
本文结合一种宏观平面3-RRR并联机器人的研制，建立了全柔性微动工作台的模型。设计该柔性机构时，通过采用免装配、无间隙和无摩擦的......
介绍了一个高精度的微动工作台,该工作台以柔性铰链为弹性导轨,并采用了一种新型驱动器作为驱动元件,实现了较高的定位精度。同时......
依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪.重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析.所研制的测量系统具有1......
介绍了一种无耦合运动的二自由度微位移工作台，该结构便于微位移工作台尺寸的小型化。文中推导了工作台载荷与位移的关系式；采用有限......
通过有限元软件ANSYS,建立有限元实体模型,同时讨论了模型的好坏、评价标准,对单自由度微位移工作台进行了仿真计算,建立了微位移......
为了解决微位移技术中大行程和高分辨率间的矛盾，研制了柔性框架式爬行驱动器，简化了微动工作台的驱动装置。其行程达到毫米级，仍保持......
介绍了一种精度高、性能稳定、结构简单的二维微动工作台微位移机构的工作原理及其设计;着重分析了为消除机构间隙和工作台爬行,提......
针对微动工作台定位中遇到的位移检测问题,探讨了一种反射式光纤位移传感器。通过分析光纤耦合原理设计了发射接收光纤探头的结构;......
研制了一种低成本、高精度的双层精密弹性微动 台及其闭环控制系统，并对其精度进行了分析，试验结果表明其分辨力优于０．１μｍ，定位优于......
介绍了基于PZT驱动的二维微动工作台，该微动台采用双柔性平行四连杆结构。用ANSYS对其进行有限元分析，使用自制的电容位移传感器进行......
重点介绍了一种基于PZT驱动的双柔性平行四连杆结构二维微动工作台。推导了柔性铰链各尺寸对固有频率的影响公式，并用有限元参数化......
研究开发了一种新型压电驱动二自由度纳米级微定位工作台。文章采用静力学理论对微动工作台的运动副进行了建模分析，推导出直角平行......
介绍了基于压电陶瓷驱动器（PZT）驱动的二维微动工作台。该微动台采用双柔性平行四连杆结构，运用参数化的分析方法求得铰链各尺寸对微......
设计一种以压电陶瓷为驱动,通过柔性机构放大输出位移的精密定位工作台。给出了该精密定位工作台的结构模型,建立了精密定位工作台......
大行程微动工作台是微细加工设备的重要组成部分，针对当前微动工作台行程小，或行程较大而其检测控制复杂等不足，提出了一种“双足式移......
纳米级二维激光外差干涉仪的设计陈晓梅曹航周自力亓爱会（长城计量测试技术研究所北京１０００９５）本文提出的一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度、０．５ｎｍ分辨率......
磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围高精度的微运动．本文论述了磁悬浮式微动......
本文提出精密微动工作台中的压电马达特性与应用和弹性铰链结构的原理及简单设计。...
针对目前微纳定位工作台工作空间密度小的问题,设计了一种新型二自由度对称式并联微纳定位工作台。分析了影响平行四边形位移放大......
测量仪器和加工设备的定位技术需要微位移技术的支持 ,微动工作台是实现微动的重要手段。介绍研制的一台低成本的 ,基于弹性变形原......
为解决稳态精度和稳定性之间的矛盾，提高压电陶瓷执行器的控制性能，进而提高其驱动的微动工作台的定位精度，构造了一种前馈补偿同反馈......
弹性铰链结构是微动工作台的核心部件。提出了双平行弹性铰链结构设计的要求和设计原则；在满足双平行弹性铰链的刚度、输出位移、应......
并联微动工作台广泛应用于高精度场合。目前，微动工作台还沿用传统并联机构的精度分析方法，这些方法在应用中无法全面定量地反映出微......
纳米机械系统的设计研究是一个崭新的课题，本文概述了纳米机械系统的有关设计模型及其基本原理和结构。......
研究开发了一种新型的大行程二维压电微动工作台。介绍了弧曲位移放大机构的工作原理，分析了影响放大机构性能的因素；工作台的柔性铰......
并联微动工作台广泛用于高精度场合，制造误差、装配误差、以及工作过程中温度与重力的作用都会影响到终端定位精度，因此有必要对误差......
使用自感知方法测量压电微动工作台的位移,省去独立传感器,构成位移自感知控制系统。压电陶瓷执行器晶片上的自由电荷中包含执行器......
研究开发了一种用于光学调整的二维压电驱动的纳米级微动工作台，建立了工作台的力学模型，并利用结构力学理论推导出工作台沿X、Y方向......
提出一种新型、集成式压电驱动两自由度nm级微定位工作台系统,工作台采用直角柔性平行板铰链,实现X,Y方向的运动,采用杠杆放大柔性......
运用ＰＣ－ＸＴ微机控制电致伸缩微动工作台，实现了微动工作的匀速平移。其行程为４．５μｍ，最小步距为０．０３μｍ，运动速度在０．０３～０．１５μｍ／ｓ的范围内可凋。在４．５μｍ行程内，工作台......
通过有限元法的应用，建立了微动工作台静、动特性的有限元分析模型，分析了柔性铰链在几个主要影响因素下的位移、应力分布以及固有频......
本文研究了读数显微镜检定装置和检定方法,对原读数显微镜检定装置进行了改进,增加了固定调焦机构、视场照明机构、微动工作台和螺......
微动工作台是微机电系统及其制造设备中的重要部件.文章结合电致伸缩陶瓷驱动器和杠杆柔性铰链机构,论述了二维微动工作台微位移机......
Ｘ射线干涉纳米测量系统要求分析器的俯仰角为１０＾－８ｒａｄ量级，侧滑角１０＾－６ｒｄ量级，为此设计了对称式高精度微动工作台，并利用有限元分析软件对设计的结构形......
重点探讨了弹性板簧导轨在微动工作中的应用．其目的是获的结构简单、运动精度高的多自由度微动台，微动台的基体是各部分相互间均以两......
磁致伸缩效应可用作实现纳米级的微量进给。本文对所研制的磁致伸缩机构的性能进行了实验。此机构可在２．５μｍ范围内进行最小位移量为２ｎｍ，位......
目前国际上Ｘ射线干涉仪所采用的微动工作台均采用对称式柔性铰链结构，其缺点是侧 滑角大，严重影响干涉信号的对比度，很容易产生干涉条......
