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大行程微动工作台是微细加工设备的重要组成部分，针对当前微动工作台行程小，或行程较大而其检测控制复杂等不足，提出了一种“双足式移动”的新原理，并研制了一台双足式大行程微动工作台。该工作台由两套进给和支承微位移器来实现进给和支承，在研究中，提出了玫套检测控制系统，可对工作台的移动位移大小和方向进行实时控制，这种检测控制系统可以使工作台按照任意的路径进给。该工作台还具有很多优点：比如分辨率高、无导轨、无