面形精度相关论文
集成电路是当前全球关注的焦点,而光刻机是制造集成电路的核心设备,其发展水平直接制约着集成电路行业的发展。高端光刻机对其核心......
目的 为了提高非球面光学模具的表面质量和加工效率。方法 分析当前非球面超精密抛光方式及其特点，针对小口径非球面光学模具，提出一......
随着激光技术进一步成熟,激光发射系统朝向更大口径、更高功率、更复杂环境适应性发展,因此对其光学防护窗口的要求越来越高。其光......
反射镜支撑结构在折反与离轴反射式光学成像系统中起着举足轻重的作用,是高分辨率航空相机的关键部件,对光电成像系统的体积、重量......
针对某700mm口径高分辨率光学成像望远镜, 提出了一种结构设计方案。对主镜支撑采用9点whiffle-tree底支撑加球头芯轴侧支撑的结构......
The free surface and unrotational-symmetric surface optical elements have been applied more and more widely along with t......
一对多激光通信天线受结构和尺寸的限制,反射镜与安装平面只能单独研磨。虽然可根据面形测试结果对安装平面进行反复研磨,以保证摆......
A new removal optimization method called submerged jet polishing (SJP) is reported. Experiments are conducted to obtain ......
针对薄板玻璃的刚度差,在研磨中容易产生变形这一特点,提出了一种新的加工方法。以加工薄施密特校正板(厚径比小于1/40)为例,用传......
深紫外光刻投影物镜光学系统对光学元件的面形精度要求极高，物镜中轴向调节机构调节力对光学元件面形的影响不可忽略。针对一种一体......
随着空间技术及需求的不断发展,空间探测技术也得到了更加广泛的应用,其中光谱成像技术由于其获得信息内容丰富的优势,被广泛应用......
面形精度测量是射电望远镜建造与运行的关键技术之一,随着天线口径越来越大,微波全息测量已成为大型射电望远镜面形精度测量的常用......
大口径反射镜组件是实现ICF固体激光器打靶功能的关键性组件,它的主要作用是完成激光束的引导、传输和准直精度的调整。精密调整和......
空间遥感技术在民生、航测、国防等方面扮演着日益重要的角色。随着对空间遥感技术要求的提高,空间遥感相机光机系统的光学元件在......
针对地平式望远镜消旋K镜系统中子反射镜支撑问题,设计了一种三点底支撑及芯轴侧支撑的联合支撑方法,并对该支撑结构展开了深入的......
近年来,大口径、大非球面度、快焦比、高次非球面光学元件在天文光学、空间光学和地基空间目标探测与识别等领域得到了越来越广泛......
为了同时满足激光装置对大口径反射镜面形精度和结构稳定性的控制要求,提出了一种反射镜多自由度解耦的多点夹持方式,通过限位实现......
随着卫星工程的迅速发展,应用于探测仪器的天线反射面的面形精度和口径直接影响探测空间分辨率、灵敏度、定标精度、极化隔离度等......
大口径非球面反射镜在现代光学系统中应用越来越广泛,以金属铝合金为材料的反射镜在红外、可见光一直到紫外光的较宽光谱范围内都......
随着空间光学技术的发展,空间光学零件制造技术面临着挑战。近年来,碳化硅(Silicon Carbide,SiC)材料由于其较高的比刚度和比强度......
平面光学元件是光学系统的重要组成部分,如今光学系统向着大型化、精密化的方向发展,对光学元件的数量和质量均提出了更高的要求。......
近几十年,科学技术的迅猛发展促使卡塞格林系统在空间光学、天文光学和激光通信等领域的应用得到极大的推广。本文主要是对焦点位......
随着现代制造业的不断发展,精密加工技术已成为先进制造技术领域的基础和关键。新的高强度材料不断地被采用,新的加工方式不断出现......
在光学系统中应用非球面元件可以增加光学设计的灵活性,改善光学系统成像质量,提高光学性能,极大地减小光学系统的外形尺寸和质量......
空间光学的发展对光学系统的轻量化提出越来越高的要求.空间光学系统中光学元件的轻量化问题已被人们所重视.超薄反射镜具有重量轻......
介绍一种由一面为圆柱面,另一面为非球面圆柱面构成的尺寸较小的光学塑料集光镜模芯制造技术.产品技术要求F1=∞,F2=4.5±0.1 mm,......
介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程。按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的......
为实现高精度中小口径非球面的加工,介绍了一种非球面修抛技术。基于Preston假设,将抛光过程描述成一个线性方程,计算得到材料的去......
为了降低航空光电侦察设备的整体质量,减小反射镜在复杂航空环境下的面形变化,利用有限元方法对某长条形反射镜组件结构进行了优化......
空间光学的发展对光学系统的轻量化提出越来越高的要求,解决光学系统轻量化这一问题将为整个航天发射计划节约大量资金。主动调节......
介绍了250mm口径、4200mm曲率半径的反应烧结碳化硅球面反射镜光学加工和检测的工艺流程;并按照流程依次介绍了在研磨成型、细磨抛......
风载是影响地基望远镜性能的主要因素之一，为了研究风载荷的作用以及对望远镜性能的影响程度，首先建立了望远镜、圆顶和流场的几何模......
空间光学元件对面形精度和表面质量有着极高的要求,气囊抛光采用了新型的抛光工具和特殊的运动形式,是一种高精度、高效率的光学元......
对刀精度是影响加工工件面形精度的主要因素之一,为了实现平面或球面零件在超精密车削过程中的高精度对刀,设计了一种基于CCD传感......
介绍了采用LVDT在线测量非球曲面的原理，并给出最小二乘数据拟合处理方法，通过试验加工球面和非球面元件．利用LVDT测量头进行在位检测......
在每次磨削加工前,需对超精密纳米磨床进行对刀,每次对刀过程耗时较长,反复装夹时需多次对刀,且结果存在人为误差,精度难以保证。......
本文介绍了480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜数控研磨的工艺参数的确定和工艺流程；并介绍了在研磨过程中使用的机床、磨具、......
在光学系统中应用非球面光学元件能够提高光学系统设计灵活性,改善光学系统成像质量,缩小光学系统尺寸,在整体上减轻系统质量。本......
分析了陶瓷关节球在超精密磨削加工中产生面形精度误差的原因，论述了砂轮位置误差与轴跳动误差对关节球面形精度的影响，通过建立三维......
根据国内外非球面零件加工难的现状,其根本原因在于多数非球面光学零件很难找到可作为加工依据的准确轨迹,同时也很难找到使轨迹在......
建立KDP晶体与真空吸盘间有限元接触模型，并利用该模型分析吸气孔和吸气槽真空吸盘对KDP晶体面形精度的影响，分析了不同直径的吸气孔......
为了分析透射式光学系统中透镜在热载荷作用下的镜面面形精度,建立了光机结构模型,使用有限元软件对热载荷作用下透镜的镜面变形量......
