磁流变抛光相关论文
近年来,随着现代科学技术的快速发展,越来越多的光学元件被应用到国防建设等各领域当中。但是传统用于加工超精密光学元件的方法存......
氧化铝陶瓷在各种电子陶瓷、精密仪器、光学、高温技术、航天航空和军工工业等领域应用越来越广泛。随着电子技术逐渐走向微型化、......
随着高新技术的快速发展，对应用于精密制造业的硬脆材料表面质量提出了越来越高的要求，传统的加工方法难以达到理想的表面精度。超精......
目的 为了提高非球面光学模具的表面质量和加工效率。方法 分析当前非球面超精密抛光方式及其特点，针对小口径非球面光学模具，提出一......
近些年来,应用在光学技术、LED照明、半导体集成电路等高端领域的光学镜片、蓝宝石基片、硅片等超精密元件的需求量巨大,这些超精......
选区激光熔化（SLM）可制造形状复杂、传统加工难实现的零件,但其成型表面存在着“台阶效应”、“球化效应”、“粉末粘附”等现象。为......
钛合金是在20世纪发展起来的一种结构金属,它的热强度高、耐腐蚀性好、且具有良好的力学综合性能,因而作为金属结构部件材料广泛应......
首先阐述机床与工件相对运动的去除机理以及对去除函数的稳定性进行表征,然后对工件在平面以不同速度做平动以及绕定点转动得到的......
随着超光滑平面器件的需求越来越大,要求器件表面粗糙度需达到纳米级,面形精度达到微米级,且无表面和亚表面损伤.传统超精密抛光技......
近年来,随着高性能光学元部件在国防军工、航空航天、核能发电等重要的工业领域和医学检测、摄像投影等民用领域的广泛应用,小口径......
凸光学元件在磁流变抛光区域的几何特性对制造高精度、高表面完整性光学元件有重要影响,凸光学元件曲率、嵌入深度与角度的变化将......
单晶SiC作为第三代半导体材料的代表,用于高性能电子器件的衬底基片,要求其表面原子级超光滑并且无亚表面损伤,但单晶SiC硬度高、......
在机械工程领域中,磁流变技术是结合材料属性变化控制与机械传动和机加工的新兴研究方向,利用磁流变液在外磁场下“固-液”相的迅......
半导体晶圆磁流变抛光是利用磁流变抛光液在磁场中的流变行为进行晶圆表面超光滑平坦化加工的方法。当前对集成电路所需半导体晶圆......
随着集成电路等领域的发展需求迅猛增加,对用于制造芯片的晶圆表面加工质量和精度提出了越来越严格的要求,要求其具有极高的光滑度......
目的去除难加工材料钴铬钼合金车削后形成的规则性螺旋刀痕并获得超光滑表面。方法 采用磁流变抛光方法，对车削后的钴铬钼合金表面......
随着科技不断发展,常用的单晶硅已不能满足其需求。单晶碳化硅材料以其禁带宽度大、热导率高、临界击穿电场高和化学稳定性好等特......
针对SLM成型的316L不锈钢表面开展磁流变抛光关键技术研究.设计点阵簇磁流变抛光工具和仿真优化工具的磁路,并规划抛光路径.利用该......
磁流变抛光目前已经可以用于平面、曲面等各类几何特征光学元件的最终表面修形与亚表面残余损伤修整,然而,工程实践中,曲率类元件......
为实现磷化铟高质量表面的绿色加工,使用动态磁场集群磁流变抛光对单晶磷化铟进行正交抛光实验,研究各工艺参数(抛光盘转速、工件......
将研磨加工中磨粒与工件表面作用过程近似为受法向载荷和切向载荷共同作用下移动的尖锐压头对表面的作用过程，基于压痕断裂力学理论......
为了提升单晶碳化硅(SiC)材料的抛光效率及表面质量,提出了将传统抛光与磁流变抛光(MRF)相结合的新方法,并对一块直径为100 mm的单......
磁流变抛光在其实际工作过程中,抛光区域几何特征的不同将会对流场创成的关键参数产生很大的影响.针对此问题建立三维模型与实验仿......
采用超精密车削加工的复杂曲面铝反射镜只能满足红外光学系统的应用需求,若要满足更高需求的应用场合,需要进一步提升反射镜面形精......
为了增加磁流变抛光过程中抛光膜的有效面积以及实时调控抛光膜产生的抛光力,解决磁流变抛光时磁力线主要集中在磁铁边缘,磁铁中部......
磁流变抛光技术是一种确定性抛光技术。非球面磁流变抛光算法是非球面磁流变抛光面形控制技术的核心,涉及面形控制的诸多工艺环节......
简述了国内外磁流变抛光技术的研究历史和现状。介绍了磁流变抛光技术的抛光原理、特性及优点。着重阐述了长春光学精密机械与物理......
磁流变抛光(Magnetorheological Finishing,MRF)是一种基于电磁学、流体力学、分析化学等理论的综合技术,可以适用于各种光学表面......
随着光学技术的发展,具有超光滑表面的平面光学元件应用越来越广。传统超精密抛光技术大多存在效率低、加工质量不易控制等问题,难......
随着半导体产业的不断蓬勃发展和手机、相机等数码产品的不断普及,诸如IC基片、手机面板等较大面积、高精密的平面元件需求在不断......
磁流变抛光技术是利用磁流变抛光液在磁场中流变性进行抛光的一种超精密加工方法,磁流变抛光液质量对半导体工件抛光的速度和效果......
随着光学、通讯、半导体、航空航天技术的飞速发展,高性能、高精度、高集成的光电系统不断涌现,以光学玻璃、碳化硅、碳化钨、蓝宝......
随着众多科技强国相继开展激光核聚变、激光武器等强激光装置的建设,现代光学系统对光学元件的口径、数量、质量提出了越来越高的......
由于具有优异的光学、力学特性,尖晶石光学零件在航天航空领域具有宽广的应用前景。作为一种多相硬脆材料,尖晶石具有显微硬度不一......
随着我国科学技术飞速发展,对光学元件的要求越来越高。尤其是在非球面光学元件的抛光与研磨领域,非球面反射镜的制造技术遭遇加工......
为了研究磁流变抛光后元件表面“彗尾状缺陷”的生成和演变机理,本文以石英玻璃为样品,分析了磁流变抛光时抛光液中抛光颗粒浓度与......
为优化磁流变抛光对低熔点玻璃表面的加工工艺,文中利用磁流变抛光技术对低熔点玻璃进行抛光,分析了磁流变抛光中工艺参数对低熔点......
磁流变确定性修形具有高精度、高效率、高表面质量以及近零亚表面损伤的特点。介绍了磁流变修形技术的基本原理和方法,并对磁流变......
采用信息熵作为去除函数驻留点随机分布的测度,基于熵增理论设计了局部随机加工路径,有效抑制磁流变抛光的中高频误差.在自研的KDM......
磁流变抛光中磁流变液的循环更新是产生确定性去除的重要条件。该文针对循环系统展开分析,讨论了机械结构稳定性、磁流变悬浮液性......
熔石英元件在强光光学系统中具有广泛的应用,但低下的加工效率与元件的抗激光损伤能力严重制约了强光光学系统的发展,因此,实现紫......
对利用自行配制的水基磁流变抛光液和磁流变抛光实验样机进行了以抛光去除效率和表面粗糙度为考核指标的工艺实验.应用正交试验方......
