微型机电系统相关论文
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,......
UV-LIGA技术吸收了集成电路光刻技术和LIGA技术的优点,利用UV-LIGA技术,在我们研制的UV-LIGA深度光刻设备上可将光刻图形转移到很......
80年代以来,人们在意识到利用半导体批量制造技术可以生产许多宏观机械系统微米尺度的样机后,就在小型机械制造领域展开一场革命,......
在2006年慕尼黑国际电子元器件和组件贸易博览会上,英飞凌科技股份公司展出了适用于普通消费通信设备和计算机通讯设备的“微型”......
跳蚤伞兵由微型机电系统构成的微型机器人电子功能系统,有较强的自主能力和机动能力,当需要进攻敌方电子系统时,可利用无人驾驶飞......
科学技术的发展使人类在探索宏观世界的同时,也在向微观世界进军。在20世纪,空间技术、生物工程、信息科学、临床医学都得到了巨......
八十年代以来,美、日、西欧等一些国家十分重视微型机电系统(MEMS)的应用研究工作,并投入了大量人力物力,目前已取得许多成果,有......
２１世纪，科学研究将以前所未有的的深度、广度和速度逼近极限和本源，走向复杂和非线性，趋于综合、交叉、融合和统一；高技术前沿孕育重大革......
本文介绍了微米/纳米科学与技术的含义、意义、国内外发展概况、微米/纳米机械的特征以及它的应用领域,这对开展该领域的研究具有......
微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套微装配系统设计方案，并对系统各个组成部分......
ＣＡＤ／ＣＡＥ技术在ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）研究过程中具有非常重要的作用．本文首先介绍了用于ＭＥＭＳ的ＣＡＤ／ＣＡＥ技术特点，然后研究了ＭＥＭＳＣＡＤ／ＣＡＥ系统结构，给出了软件支持工具结构框图，指明了解决其中......
微型机电系统正成为世界各国竞相投资开发的热点，人们期待着它能够像微电子一样，带来一场新的技术革命。上海交通大学和北京大学合作......
它的意义不在于走向更小、更精密、更快,而在于让人们掌握了自然界所拥有的创新机理。
Its significance is not to move toward ......
1997年4月28日至4月30日在加拿大温哥华召开了world Micromachine Summit’97会议。美、日、德、中等13个国家和地区的代表介绍了......
微型机电系统技术是一个新兴的技术领域。本文介绍了微电子机械系统 (MEMS)的特点和关键技术 ,讨论了MEMS的应用 ,并阐述了MEMS的......
形状记忆合金薄膜以其功密度高、输出力和位移大成为微型机电系统领域最有潜力的微驱动材料之一。研究了丝材冷轧和溅射薄膜工艺 ,......
对医用内窥镜的现状和发展作了简短评述，指出了传统内窥镜人为植入的不足之处及微型机电系统（ＭＥＭＳ）应用于内窥镜系统的可能性，介绍了国际上......
首次提出用ＤＥＭ（Ｄｅｅｐｅｔｃｈｉｎｇ，Ｅｌｅｃｔｒｏｆｏｒｍｉｎｇ，Ｍｉｃｒｏｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ）技术进行非硅材料三维微机械加工，该技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的优点，解决了ＬＩＧＡ技术的光源问题。目前利用该技术已获得......
半个世纪以来 ,在党和国家领导下 ,我国的机械工程科学得到了很大的发展 ,已经建立了较完善的学科体系 ,在学科前沿研究、技术创新......
随着微型机电系统(MEMS)的快速发展,MEMS摩擦学已成为纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之一。微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个M......
以ＭＥＭＳ（微型机电系统）为基础的惯性仪表在汽车、计算机、导航等领域都将有广泛的应用。为了制作出低价格、小尺寸、中等精度的微型加速度......
泰克公司日前宣布 ,推出市场领先的光通信测试产品系列 ,使光通信设备制造商降低测试业务的成本和复杂性。开关模块采用最新的微型......
提出了一种结构简单、易于加工的阀片式硅微流量传感器。该微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力，再由集成在阀片上的压......
微型喷是微型机电系统的一种重要执行器。它的主要应用方向为喷墨打印头、微供给、芯片冷却以及气流控制等。近几年来，随着航天领域......
微型机电系统的军事应用微型机电系统（ＭＥＭＳ）是体积非常小、重量非常轻的完全功能化器件。它以微米为度量单位，肉眼一般是看不到的。例如微......
红外遥控微型泵清华大学精密仪器与机械学系胡敏周兆英才海男李勇微小型泵作为微量流体控制的关键致动单元，是当今微型机电系统（ＭＥＭＳ）领域......
在总结微型机电系统(MEMS)的特点和现有微细加工方法的基础上,讨论了空间机构微小化设计的准则,最后用一个空间机构的微小化设计例......
微型机电系统学是一个多学科交叉的前沿学科 ,世界各国都高度重视MEMS的研究。微小型机器人能进入人所不及的狭小空间内作业 ,在许......
现代科学技术的发展,特别是微细加工技术和微机电系统的飞速发展为微型机器人的出现奠定了技术基础。微型机器人并非现有机器人在......
本文仅就用于微马达的微3K－2型行星齿轮减速器的设计，微细电火花（EDM；electricaldischargemachining）加工以及研究中的一些难点作一阐述......
微型机电系统(MEMS)技术在手持设备领域呈现出爆炸式增长。美国市场调研公司 In-Stat/MDR 估计,到2005年MEMS 在消费电子中的销售......
微型机电系统是将微结构的传感、致动和控制集于一体的智能微型装置或系统。微板结构是微型机电系统的典型结构之一,机电耦合问题......
微型机电系统(Micro Electro-Mechanical System，MEMS)是目前一个新兴的学科交叉领域，具有非常广阔的应用前景，是未来世界科学的研究......
MEMS工艺版图三维重构是MEMS CAD关键技术之一，同时也是微机电系统集成平台(MEMS GARDEN 3.0)工艺级核心模块，是实现“top-down”设......
20世纪后半叶，随着大规模集成电路技术和微制造技术的发展，出现了微型机电系统(MEMS)，并且迅速成为当今最有生命力和最具发展前景的机......
动力学特性直接影响微型机电系统的设计及其工作特性的控制。微梁结构是微型机电系统的典型结构之一,本论文研究了机电耦合微梁系......
该文在总结前人工作的基础上,将尺寸效应推广到微传感 领域,在此基础上选定了比较有利的测量方案,并在仿真的基础上设计出了结构......
该文所研究的用于微型推进系统的微型喷采用以水为质的电阻电热的工作方式.这一工作方式结构简单,易于微型化并且应用广泛.微型喷......
作为一种重要的非注射给药途径,医用雾化给药方法已成为药物制剂学入医疗器械研究的热点,具有广阔的应用前景.当前微型喷研究以孔......
磁强计是用于磁场测量的传感器，在工业、农业和国防等领域都有广泛的应用。随着MEMS技术的发展，出现了一些利用新原理、新效应的微型......
