微型机电系统相关论文
利用微型机电系统(MEMS)加工工艺制备微悬臂梁,开发了一种由镀钯薄膜微悬臂梁和光纤布拉格光栅(FBG)组成的氢气敏光纤传感器,通过......
微型机电系统是将微结构的传感、致动和控制集于一体的智能微型装置或系统。微板结构是微型机电系统的典型结构之一,机电耦合问题......
随着MEMS向着产业化的方向发展，建立MEMS集成设计平台是实现MEMS系统、科学、规范化设计的有效手段，对于减少MEMS设计和制造过程的重......
微型机电系统(Micro Electro-Mechanical System，MEMS)是目前一个新兴的学科交叉领域，具有非常广阔的应用前景，是未来世界科学的研究......
MEMS工艺版图三维重构是MEMS CAD关键技术之一，同时也是微机电系统集成平台(MEMS GARDEN 3.0)工艺级核心模块，是实现“top-down”设......
20世纪后半叶，随着大规模集成电路技术和微制造技术的发展，出现了微型机电系统(MEMS)，并且迅速成为当今最有生命力和最具发展前景的机......
动力学特性直接影响微型机电系统的设计及其工作特性的控制。微梁结构是微型机电系统的典型结构之一,本论文研究了机电耦合微梁系......
介绍了一种微型装配系统中的精密定位装置 ,该系统利用了外形尺寸为 2 mm的电磁型微电动机制作了 5mm× 6mm的微型机器人小车作为......
光栅光阀是一种基于微型机电系统(MEMS)工艺的光调制器,利用其表面具有的可选择的变形部分(可动光阀),提供衍射光栅,被应用于投影......
微机械手是一种典型的微型执行器,是微型机电系统（MEMS）的重要研究内容之一。以基于柔性铰链的电热驱动硅微机械手为研究对象,建立了......
MEMS（Micro Electromechanical System,即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源......
微纳米技术的发展使得设计和制造出实用的微型机电系统(MEMS)成为可能,然而,在微观尺度下表面力引起的粘着将严重的影响系统的性能......
目前电泳芯片大多数采用的是光学检测的方法,这为电泳芯片的微型化、一体化集成带来了一定的难度.为此,设计了一种新的电泳芯片高......
在微型机电系统硅微制造技术制作的矩形硅微通道内注入血细胞溶液，用高速摄影机采集记录血细胞微流动图像，利用图像处理技术，对流动图......
为了满足微型机电系统研究和测试的要求,设计了一种压电驱动的基于柔性铰链的微操作执行器.该微操作执行器采用组合杠杆原理将压电......
21世纪的社会是无“网”而不胜的信息化社会，在信息技术、自动化技术等高新技术的促进下，工业正在朝着数字化、智能化、网络化与综合......
据美刊<电子世界>最近报道,美国一些大学(包括加州大学、斯坦福大学、哈佛大学、约翰·霍普斯金大学)在美国国防部资助下,正在......
本文对微机电系统的含义、功能、特点以及国内外在该领域的研究成果作了简介 ; 重点介绍了微机电工程在当今医学中的具体应用,提请......
针对目前MEMS 设计复杂,直观性差等问题,提出了工艺集成化设计和可视化的可行性解决方案,对其中的关键技术进行了研究,并基于所提......
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,......
建立单侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器的三次超静定简化力学模型，给出该模型中谐振频率、弹性系数和横向最大位移的计算公式。与五......
概述了开展微型机电系统 (MEMS)建模与仿真研究的意义和必要性.提出了MEMS建模与仿真技术的特点:(1)多物理场耦合;(2)材料特性的变......
利用新材料SMA做驱动装置,研制医用微型阀.介绍形状记忆合金的主要特性及微型阀的结构参数.并对其中NiTi合金丝进行驱动特性的研究......
纳米技术是当前发展最迅速、研究最广泛、投入最多的科学技术领域之一,被誉为21世纪的三大新兴技术之一.纳米技术是一个国家在21世......
纳米科学与技术是深入到原子级微观世界的新科技,最近获得了极大的进展.这是一个新的科技发展领域,有可能使多个科技领域产生重大......
利用离子注入技术对单晶硅表面进行了氩离子注入,用微摩擦磨损实验机研究了改性层的摩擦磨损行为,并用透射电子显微镜研究了改性层......
上海交通大学"仪器科学与技术"学科在精密机械、智能仪器工程、微型机电系统、新型传感器、计算机软硬件、生物医学工程、大规模集......
运用能量法推导并建立了一种V型悬臂粱电热微致动器的力学模型.利用该力学模型得到了致动器的力学特性,并且与相关的实验结果进行......
柔性机构是一种新型机构。首先描述了柔性机构和全柔性机构的概念及特点,论述了它们与MEMS之间的关系。然后详细介绍了全柔性机构......
随着燃料电池体积的微小化，传统的测试技术已经不再适合微型燃料电池某些参数的测试。在这种情况下，基于微机电系统的微尺度测试技术......
根据半导体工艺的需要,介绍了利用SEM分析工艺问题的方法。主要包括样品的解理、缀饰及为提高导电性所采用的镀膜方法比对,其中高......
建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型，得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计......
为了优化设计微驱动器,笔者通过对比近年来各种微驱动器的研究和发展,系统地概括总结了微驱动器所采用的主要的驱动原理、驱动方式......
文章介绍了一种轮廓模式压电谐振器的工作原理,阐述了多物理场的概念并利用多物理场有限元分析方法分析了该谐振器的谐振过程,并利......
作为动力源的微致动器是微型机电系统(MEMS)的重要组成部分之一，承担着MEMS中能量转换、运动和力的产生等功能，其位移与力的输出能力......
针对传统催化甲烷传感器功耗高的问题,在分析微型机电系统(MEMS)低功耗催化甲烷元件性能的基础上,提出脉冲供电工作方式。通过输出......
随着微型机电系统(MEMS)相关技术的发展,微小型水下仿生机器人已成为各国广泛研究的热点问题。综述了微小型水下仿生机器人的研究......
回顾了微纳机电系统（Micro/Nano electro-mechanical system,MEMS/NEMS）器件工业中所用键合技术的发展和应用,总结了作为其中关键键......
介绍一种新的原子发射光谱微型电感耦合等离子体（ICP）激发源,阐述这种激发源的结构、性能及其在光谱仪中的应用,它与平面结构的微型F......
微型机电系统是一个新兴的技术领域，其主要优点是体积小、重量轻、能耗少、响应快、大批量、成本低等，有广泛的应用前景。在概述微型......
分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到 2 0 0 3年微小系统的市场约为 40 0亿美元 ,是商用航空业的一......
<正>一、微型机械加工技术概念微型机械加工或称微型机电系统或微型系统是只可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器......
综述微型机电系统／微型机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状。相对硅微细加工和ＬＩＧＡ工艺，不采用掩膜版的特种微细加工技术，如......
根据当前胃肠道内窥镜自主运动机器人的研究方向,设计了一种微型的肠道内窥镜机器人系统。机器人采用仿尺蠖式的运动步态,通过直流......
