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微型机电系统(Micro Electro-Mechanical System，MEMS)是目前一个新兴的学科交叉领域，具有非常广阔的应用前景，是未来世界科学的研究重点。最近几年，MEMS的发展非常迅速，MEMS器件越来越复杂，MEMS的制作技术也随之发展，相比而言，MEMS的设计显得相对的落后。 本论文针对目前MEMS设计复杂、直观性差等问题，结合当前的国防基础研究课题“微型机电系统集成设计技术”，提出了工艺集成化设计和可视化的可行性解决方案，对其中的关键技术进行了研究，