MEMS工艺版图三维重构技术研究

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【摘要】

：

MEMS工艺版图三维重构是MEMS CAD关键技术之一，同时也是微机电系统集成平台(MEMS GARDEN 3.0)工艺级核心模块，是实现“top-down”设计“bottom-up”验证的必要条件。因此该技术研究具有重要的应用价值。本文首先介绍了MEMS加工技术，并对常用加工工艺：基体创建，沉积，光刻，刻蚀以及键合进行几何建模，得到能够被三维重构系统识别的数据模型。其次将工艺流程

【作者】

：

方志华

【机构】

：

西北工业大学

【发表日期】

：

2004年02期

【关键词】

：

微型机电系统工艺版图三维重构

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