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微机械热学研究对于集成电路、微传感器以及半导体激光器等微尺度器件的设计与制作具有重要的意义.目前无论对于微尺度热学的基础理论还是其实验研究都很不成熟,有待于进一步完善.本文总结了微尺度热传导系数的测量方法,着重阐述了比较了对微米量级薄膜以及悬臂结构热传导系数的几种测量方法.
微机械热传导系数的测量方法
【摘 要】
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微机械热学研究对于集成电路、微传感器以及半导体激光器等微尺度器件的设计与制作具有重要的意义.目前无论对于微尺度热学的基础理论还是其实验研究都很不成熟,有待于进一步完善.本文总结了微尺度热传导系数的测量方法,着重阐述了比较了对微米量级薄膜以及悬臂结构热传导系数的几种测量方法.
【机 构】
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中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年10期
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