微机械方法制作热导式湿度传感器的研究

来源 :第四届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tffx7677
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该文介绍了用微机械方法制作热导式湿度传感器的工作原理、传感器的结构和制作工艺,并就这种传感器的特性进行讨论。
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