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本文报导了一种新型栅结构微机械陀螺的设计及制作,对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响,对陀螺的制作进行了讨论.理论分析表明,在大气状态下,新型栅结构微机械陀螺的驱动频率为2.85KHz时,其带宽可达到32Hz,品质因子Q可达到150.
一种新型栅结构微机械陀螺的设计和制作
【摘 要】
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本文报导了一种新型栅结构微机械陀螺的设计及制作,对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响,对陀螺的制作进行了讨论.理论分析表明,在大气状态下,新型栅结构微机械陀螺的驱动频率为2.85KHz时,其带宽可达到32Hz,品质因子Q可达到150.
【机 构】
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传感技术国家重点实验室
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年10期
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