论文部分内容阅读
该文对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件；硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究：建立了微传感器敏感结构的数学模型；敏感结构参数：方形膜边长4mm，膜厚0.1mm，梁谐振子长1.3mm，宽0.08mm，厚0.007mm；对原理实验样件采用电热激励、压阻拾振方式作了开环测试，讨论了传感器的闭环系统。