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本文介绍了圆形膜片E型杯硅微压传感元件的设计原理。并针对硅微压传感元件研制中存在的问题，提出采用化学腐蚀技术，选择性腐蚀工艺控制膜厚。用E型杯代替C型杯的设计，改善非线性误差获得成功。研制出量程≤kPa，精度优于0．5％的微压元件。
硅微压传感元件的设计分析及关键技术
【摘 要】
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本文介绍了圆形膜片E型杯硅微压传感元件的设计原理。并针对硅微压传感元件研制中存在的问题，提出采用化学腐蚀技术，选择性腐蚀工艺控制膜厚。用E型杯代替C型杯的设计，改善非线
【机 构】
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辽宁大学电子系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1995年1期
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