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介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等.这些器件包括行波管、返波管、斜注管、止带振荡器及行波管谐波放大器等,高频结构以折叠波导慢波结构为主,在太赫兹返波管中则利用叶片加载波导慢波结构.器件技术包括微机电系统（MEMS ）技术,微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）金刚石生长、金属化和封接技术等.最后给出W 波段、G波段以及340GHz 部件和器件所达到的性能.