采用MEMS技术生产的微型陀螺广泛应用于军事和商业方面.在对其中一种陀螺工作原理进行分析的基础上,本文详细地研究了这种陀螺的信......

基于MEMS技术的微陀螺(microgyro)具有体积小、重量轻、价格低、寿命长和易于批量生产等诸多优点,具有广阔的应用前景。然而,由于......

利用压电陶瓷的特性 ,采用IC兼容的技术 ,设计并制造了一种新颖的压电薄膜微型陀螺 .在Pt/Ti/SiO2 /Si基底上以sol gel技术铺设了......

利用压电陶瓷PZT的正反压电效应，将PZT薄膜同时作为驱动及传感材料，设计并制造了两种新颖的以IC兼容技术制作在硅片上的压电薄膜微型......

利用压电陶瓷的特性，采用ＩＣ兼容的技术，设计并制造了一种新颖的压电薄膜微型陀螺。在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基底上以ｓｏｌ－ｇｅｌ技术铺设了高质量的压电陶瓷薄膜。基于压......