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利用压电陶瓷的特性,采用IC兼容的技术,设计并制造了一种新颖的压电薄膜微型陀螺。在Pt/Ti/SiO2/Si基底上以sol-gel技术铺设了高质量的压电陶瓷薄膜。基于压电反效应,微型陀螺在其谐振频率上被0.3V的交流信号驱动。由其压电正效应,可检测到与转动角速度成正比的输出信号。本文介绍了该微型陀螺的设计原理。实验结果证实了理论预测。