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IC兼容技术相关论文

以PZT薄膜为驱动和传感的微型陀螺研制

利用压电陶瓷 PZT的正反压电效应 ,将 PZT薄膜同时作为驱动及传感材料 ,设计并制造了两种新颖的以 IC兼容技术制作在硅片上的压电......

期刊

输出信号微机械制造科里奥利力 IC兼容技术传感材料转动角速度科里奥利效应信号驱动交流电压谐振频率

一种新颖的四梁式压电薄膜微型陀螺

利用压电陶瓷的特性 ,采用IC兼容的技术 ,设计并制造了一种新颖的压电薄膜微型陀螺 .在Pt/Ti/SiO2 /Si基底上以sol gel技术铺设了......

期刊

压电效应科里奥利力微机械制造 IC兼容技术微型陀螺

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