CD-SEM相关论文
采用一种沟道内置沟道的套刻标记和自动工艺控制策略,双沟道图形化相关的CD均匀性问题可保持在具有量产价值的范围内。
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在德克萨斯州立大学与Sematech协作的、德克萨斯发起的先进材料研究中心（AMRC），人们正在试图将硅纳米线应用于微电子行业，作为SEM测量......
针对线距标准样片线间距的测量需求,基于关键尺寸扫描电镜(CD-SEM),提出了一种宽度测量方法。首先,介绍了CD-SEM测量系统的基本原......
