膜厚测量相关论文
核燃料组件作为核能的直接来源,因长期承受外界多变环境因子耦合交互作用,以致其自身局部随机变形与表面锆合金氧化膜破损现象时有......
膜厚测量是半导体芯片制备过程中的关键技术。介绍了工业级膜厚测量设备的工作原理和技术要求。以聚焦光谱椭偏仪为实验平台,在光......
运用FIB技术对OSP涂层的实际膜厚做了测试,建立了UV法的膜厚计算公式,并对OSP涂层的保焊性能做了详细研究.......
通过大量工艺实验,镀制了改变脉冲真空电弧离子源电源参数(主回路电压,脉冲频率)、基片高度以及磁场等工艺参数的样品,选择了一种......
介绍了ＤＭＹ－１型膜厚测量仪的原理与设计，给出了不同情况下膜层厚度测量公式，并对该仪器进行了实验，该仪器的测量精度：对于较薄膜为±２ｎｍ，对一般膜......
介绍一种以８０３１单片机为核心，采用电容传感器对薄膜厚度进行动态在线测量的高精度高分辨率仪器。仪器采用反馈运算方法，使用驱动电缆技术......
薄膜科学与技术是当前高科技中的一个重要领域，用反射式椭偏仪测量薄膜厚度是一个重要的物理实验．然而，目前的实验内容只能确定膜厚在......
本文介绍了膜厚测量装置KMC和线幅测量装置KAR在TFT制作过程中的online应用.主要介绍了KMC使用反射折射光谱原理对3层内的多层膜厚......
纳米级润滑膜测试技术是研究纳米级润滑膜特性的关键问题之一,有了精确的润滑膜厚度测量才能对薄膜润滑进行更深一步的研究,才能更......
薄膜技术和薄膜材料是当代真空技术和材料科学最活跃的领域,在新技术革命中扮演着重角色.该论文提出了用石英晶体振荡法测量ITO薄......
为了解决大面积类金刚石薄膜的均匀性,首先要研究脉冲离子源所镀制的类金刚石薄膜的厚度分布曲线。针对这一目的,做了大量工艺实验......
运用电磁场理论对金属波导膜厚测量的原理进行了详细分析,并且研制了一台膜厚测量仪,理论和实践表明:可以通过测量复合金属波导膜......
提出使用数字CCD拍摄光干涉条纹,使用图像处理软件进行灰度值扫描分析光干涉条纹的方法,对不透明薄膜进行光干涉法测厚。数字CCD和......
通过大量工艺实验,镀制了改变脉冲真空电弧离子源电源参数(主回路电压,脉冲频率)、基片高度以及磁场等工艺参数的样品,选择了一种......
通过大量工艺实验，镀制了改变脉冲真空电弧离子源电源系统（主回路电,脉冲频率），基片高度以及磁场等工艺参数的样品，选择了一种合适的膜......
薄膜润滑是20世纪90年代以来广泛研究的新型润滑状态.它是界于弹流润滑和边界润滑之间的一种过渡润滑状态,有着自己独特的润滑规律......
采用平垫层与单色仪分频相结合的方法，得到了不同波长干涉图像。经过图像处理，使按此原理设计的ＮＧＹ－１型膜厚测量仪实现了纳米量级的膜厚测......
本文采用了相对光强原理测定润滑膜的厚度。增强了测量结果抗外界干扰的性能，提高了测量膜厚的分辨率，最后给出的实验结果表明得该原......
简要说明了红外辐射测量技术的工作原理与理论基础以及红外测量的特点。MOCVD硅片外延生长过程中反射率是实时变化的，但传统红外测......
离子束刻蚀技术现在越来越多被应用在可见光乃至红外薄膜中,在这一技术中最为关键的环节就是如何精确地测量离子源对薄膜的刻蚀速......
全息干板膜的厚度是全息干板的重要参数之一。使用迈克尔逊干涉仪和白光光源对2种全息干板膜厚度进行测量，并对测量结果误差进行分......
在柔性基底金属薄膜的各项参数中，镀层的厚度是最重要的参量。但由于直接测量膜厚非常困难而且成本极高，所以常用的方法是通过测量方......
本文对利用声光可调滤光器测量薄膜的光学厚度进行了理论探讨,并在实验中加以证实。...
根据傅立叶光学理论从光栅的衍射频谱中可以反推光栅本身的多种信息,包括其形貌特征.利用矩形相位光栅的傅立叶变换,推导出零级和......
研究了确定单层MgF2薄膜的物理厚度及其在深紫外／真空紫外波段折射率的方法。首先，利用钼舟热蒸发工艺在B270基底上制备了单层MgF2薄......
软Ｘ射线光学系统需要在超光滑曲面上均匀镀膜。我们将超光滑曲面看作由若干个小平面拼接而成，通过小角衍射仪测量出各个小平面的周期......
核燃料组件由于长期处于高温、高压、高辐照等复杂多变环境中,变形燃料棒的锆合金包壳表面极易发生氧化现象。因此,研究组件氧化膜......
随着科技的进步,现代干涉测量技术具有量程大、分辨率高、精度高以及操作方便等优点,在精密计量、机械加工控制、电子精密机械设备......
为了解决大面积类金刚薄膜的均匀性，首先要研究脉冲离子源所镀制的类金刚石薄膜的厚度分布曲线。针对这一目的，做了大量工艺实验，在不......
应用椭偏光谱法,测量透明膜和吸收膜的折射率、厚度及消光系数.利用Delphi语言编程对实验数据进行处理,其结果与已正式出版的椭偏......
实验研究全膜条件下不同接触固体表面速度效应对弹流润滑的影响。实验在改进的经典的球一盘接触实验装置上进行，通过圆弧导轨改变玻......
本文用电化学和光电化学方法研究了在硼酸/硼酸钠溶液中铁钝化膜厚度和成膜电位的关系。指出铁钝化膜由两层氧化物组成,内层为具有......
针对传统厚膜混合集成电路在厚膜电阻制造过程中存在厚膜电阻阻值离散性大、印刷效率低及产生大量试阻片浪费等问题,特对厚膜制造......
提出一种基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法.该方法用有效电极直径Φ3 mm电容传感头,通过变化空气隙Δh进行多次测......
本文介绍了借助于数码相机将干涉显微镜正气图像展示在计算机屏幕上的方法,解决了膜厚测量实验中的常见问题,加快了实验调节的速度......
涂镀层厚度的测量方法主要有X射线荧光法,β射线反向散射法,楔切法,磁感应测厚法,电涡流测厚法(包括相位敏感的电涡流测厚法)及超......
随着涂层及薄膜材料的广泛应用,工业界对膜厚的测量与质量控制提出了更高的要求,膜层厚度测试变得尤为重要。针对目前检测方法的不......
纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文综述当前纳米薄膜的制......
近年来，随着薄膜技术的迅速发展，薄膜技术广泛应用在微电子技术、高分子材料技术、宇航技术、生物工程技术、食品科学技术等众多领域......
根据MOCVD在线监测设备的发展需要,设计了一种多功能在线监测探头,能够同时实现带反射率修正的三种红外辐射测温以及两个波长的反......
采用激光诱导荧光法结合数字图像处理技术对水平管外降膜流动的液膜厚度进行了测量,得到了常温常压下水在水平光滑管和Turbo-CII强......
薄膜厚度均匀性是衡量薄膜质量和镀膜装置性能的一项重要指标。在自行设计的磁控溅射沉积设备上,对薄膜沉积工艺中靶基间距、溅射......
金属有机物化学气相沉积（Metal-Organic Chemical Vapor Deposition，MOCVD）是制备基于氮化物和ZnO等材料的光电子器件的一种新技术。M......
针对原子自旋器件的碱金属气室镀膜层厚度的精确测量，提出了一种基于受抑全反射的膜层厚度测量方法。根据该方法搭建了膜厚测量系统......
为了精确测量自支撑金属薄膜厚度及其厚度分布,提出了基于白光共焦光谱传感器的金属薄膜厚度测量技术。介绍了该技术的测量原理及......
