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在柔性基底金属薄膜的各项参数中，镀层的厚度是最重要的参量。但由于直接测量膜厚非常困难而且成本极高，所以常用的方法是通过测量方阻来间接反映膜厚。介绍了在线方阻测量的原理，并对其国内外发展现状予以综述，提出了一套在线方阻测量的方法，确定了在线方阻测量的结构，最后给出了确定金属薄膜在线方阻值的方法。
在柔性基底上沉积金属薄膜厚度的在线测量
【摘 要】
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在柔性基底金属薄膜的各项参数中，镀层的厚度是最重要的参量。但由于直接测量膜厚非常困难而且成本极高，所以常用的方法是通过测量方阻来间接反映膜厚。介绍了在线方阻测量的原
【机 构】
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南京数控机床有限公司,东北大学
【出 处】
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机械制造与自动化
【发表日期】
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2007年5期
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