波像差相关论文
本文提出了一种基于红外激光干涉仪检测非球面面形的新方法，分为3个步骤：首先，利用红外激光干涉仪测量分析出非球面与标准球面之间的......
对于鱼眼镜头一类光学系统，其超大视场的物点对于光学系统的成像，是符合平面对称光学系统的成像规律的。应用LU发展的平面对称光学系......
基于波动光学光程差建立的光学系统像差理论，波像差由理想波面算起，表示实际波面与理想波面的差距，理想波面可以理解为以理想像点为中......
航空光电成像系统由于像移的存在导致成像分辨率下降，严重影响航空光电系统的整机性能。采用像移补偿技术可以提高航空光电系统成像......
R-C(Ritchey-Chretien)光学系统作为两镜反射式光学系统,是双曲面光学系统的典型结构形式,在现代光学工程中具有重要的应用.以缩短......
波前畸变会影响平行光栅对压缩器输出脉冲的可压缩性和远场焦斑的质量。结合光线追迹法和夫琅禾费远场衍射原理建立了平行光栅对压......
在传统哈特曼检验法基础上研制成功一种扫描型哈特曼检测新装置,可对最大口径为φ300 mm的聚焦镜在全口径范围内进行采样测量.该检......
在用大口径、长焦距平行光管模拟激光远场特性时,其光组透镜在重力作用下的变形不能忽略,为了分析对出射光束质量的影响,采用有限......
为了分析一维相移剪切干涉仪中调制度的变化规律和影响。研究了一维光栅相移剪切干涉仪的基本原理，推导了干涉光强公式和光强调制度......
在光学系统装调中, 由于光学元件的面型误差、加工误差等影响因素的存在, 使待装调的光学系统的装调失调量并非为一个确定的准值, ......
为实现对小视场光学镜头波像差的快速、高精度检测，将自准直原理与斐索型激光球面干涉仪检测波像差原理结合起来，提出一种基于自准直......
为了研究怎样用衍射理论分析处理畸变，从基于点源圆孔衍射的成像原理出发，经过适当推理得到高斯像面上仅有畸变像点的光强分布解析计......
根据逆哈特曼检测原理建立了逆光线追迹模型,对透射相位测量偏折术系统进行了分析,并提出了可适用于透镜或成像镜头波像差测量的计......
建立了粗糙波面点扩散函数。所建立的点扩散函数，包括“核”和“晕圈”两部份，前者随粗糙度的增加而减少，后者随粗糙度的增加而增加。......
传统刀口仪检测光学元件面形具有设备简单、非接触性测量等优点，但传统刀口仪只能定性评价面形质量，且人为因素较大。在传统刀口检测......
极紫外光刻技术（EUVL）是半导体制造实现22 nm及以下节点的下一代光刻技术,高分辨投影物镜的设计是实现高分辨光刻的关键技术。为设计......
提出了一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法。通过对空间像进行统计分析,获取空间像的噪声模型和噪声标准差模型。......
提出一种基于阶梯相位环空间像主成分分析的光刻投影物镜波像差检测方法。通过对相位环空间像进行主成分分析和多元线性回归分析,......
10nm以下光刻技术牵引极紫外(EUV)光刻物镜向超高数值孔径(NA)、组合倍率设计形式发展,物镜系统的入射角和入射角范围因此急剧增大......
Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的......
为了实时准确地将激光直写系统中经直写物镜聚焦的光斑定位于待加工元件表面,提出了一种基于波像差判据的同步相移显微干涉检焦方......
光学自由曲面,为制造与光学领域交叉产生的典型特征曲面,具有简化光学系统结构、增加光学设计柔性、校正像差、提高成像质量等优点......
针对显微系统具有高分辨率与高成像质量的要求,其系统一般片数多装调困难,导致系统存在实际的装调效果与设计结果之间难以匹配的问......
针对自由曲面面形干涉测量的需求,提出了一种部分补偿干涉测量的可变形镜面形设计的优化方法,以克服多变量优化易陷入局部最优以及......
1.通常用干涉方法测量光学系统的波像差,但由于干涉法需要参考波面,因而在实际应用中有一定限制.Sarnik提出了一种通过恢复点扩散......
介绍研制成的一台移相式数字平面干涉仪，其孔径为Φ２４５ｍｍ，用液面作基准标定并消除仪器的系统误差，准确度优于λ／５０（峰谷值，λ＝０．６３２８μｍ）。利用计算机辅助......
为实现λ/100峰谷值(PV)的光刻投影物镜面形检测精度要求,深入分析了自重变形对大口径超高精度Fizeau干涉仪的光学性能产生的影响......
非球面光学元件检测中,获得准确的面形信息是实现元件确定性制造的关键因素之一。在无像差点法检测离轴非球面中,为了实现反射镜的......
介绍了一种空间三自由度纳米定位平台,其应用背景为光刻投影物镜波像差检测系统的精密对准,因此对定位精度和定位速度都提出了很高......
为进一步提高Ritchey-Common法的检测精度,分析了实验中Ritchey角精度对整体检测结果的影响。通过仿真模拟,分析并确定出最佳Ritch......
为实现高精度瑞奇-康芒法检测,利用检测系统光瞳面与被测平面镜二者间的坐标转换关系,结合最小二乘法直接对测得的系统波像差进行......
为了更好地利用区域结构函数评价大口径反射镜表面面形,引入了Randon变换作为区域结构函数坍陷的工具。对于使用Randon变换进行区......
为了更好地了解拼接望远镜光学系统的光学性能,对拼接主镜中分块镜的各种误差对望远镜光学系统的影响进行有效的分析计算。从几何......
为了更好地检测与评价大口径平面镜,引入了离散傅里叶级数作为处理五棱镜扫描结果的数学工具。从基本理论出发,分析了离散傅里叶方......
为了评估光机结构的长期稳定性,提出了一种偏移量解算的稳定性评估方案。首先进行数学建模,通过敏感矩阵建立了光机结构偏移量与系......
针对空间相机像差特点设计了校正低阶像差的9点促动变形反射镜，变形镜能够产生离焦、像散和彗差。对变形镜进行测试，结果表明变形镜......
基于有限元ComsolMultiphysics软件，模拟计算了长时间出光条件下反射镜的温度分布和热变形分布。对热变形引起的波像差采用前65阶Ze......
构建了一台数字化刀口仪,利用该数字刀口仪对二次非球面光学元件进行实际检验,获得了非球面光学元件表面面形的均方根(RMS)值和峰......
在光学和激光系统的分析中，经常需要知道波像差的均方根值与光束质量因子β及Ｓｔｒｅｈｌ比的关系。该文用数值计算的方法，研究了不同类型波像差......
针对本振光为高斯分布,接收信号光经望远镜聚焦后为艾里分布的情况,首先对高斯和艾里函数用数值计算的方式得到两种光斑最大外差效......
目的： 搭建可测量人工晶体波像差的模型眼光路。 方法： 参照Hartmann-Shack波像差测量方法，搭建了一条可测量人工晶体波像差......
该文介绍了人眼光学成像系统,对目前流行的波前像差的测量方法和矫正方法作了简要回顾,介绍了哈特曼波前传感器的原理,以及在视力......
