微机电系统技术相关论文
基于微流控的液滴发生是数字聚合酶链式反应（PCR）等分子生物学检测数字化的基础。研究了一种新的微流控法制备微液滴，采用微流控与热......
波长选择开关(WSS)被认为是最重要的波长引擎技术,已成为运营商在下一代网络部署中的关键器件。提出了一种新型的波长选择开关结构......
随着MEMS技术的发展和无线传感器网络功耗的大幅下降,使用MEMS振动能量采集器为其持续供电成为可能。MEMS振动能量采集器具有便携......
空中通信节点技术是现代先进飞行器和多军种联合作战中重要的支撑技术之一,其性能的先进程度直接影响着飞行器的综合性能。在当今......
微机电系统（MEMS）技术 MEMS这个新技术术语,近年来不但在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中......
微型飞行器(MAV)是MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题.该文综述了世界各国对微......
研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率......
介绍太赫兹返波振荡器的发展,重点对340 GHz返波振荡器的设计、模拟和微细加工等研究工作进行了详细介绍。采用平行流电子枪、均匀......
介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等.这些器件包......
选择Terfenol-D作为微致动器主要材料,采用弹簧对GMM棒施加一定的预压力以获得较大的磁致伸缩应变,采用偏置磁场消除GMM棒的倍频现......
一、微机电系统（MEMS）技术概述MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断......
微机电系统技术(MEMS)是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的.其微型化、集成化、批量生产和......
微型飞行器 (MAV)是 MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物 ,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题 .该文综述了世界各国......
随着信息技术的发展,传感器作为信息产业的神经触角,将人们从'通信时代'带入到'感知时代'。传感器是数据采集的重......
<正>美国的军事优势在很大程度上仰仗全球定位系统(GPS),而且这种依赖与日俱增。但是GPS卫星发射的导航信号比较弱,而且以固定的频......
基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过......
较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器......
为了探索声表面波器件制作工艺，在压电器件工作原理的基础上，通过设计声表面波器件的工作频率、叉指宽度、间隙及对数等器件参数，绘制......
采用微机电系统（MEMS）技术结合金属辅助化学腐蚀工艺制作出关键结构为纳米氧化硅的阵列芯片,细胞可以定点黏附在纳米氧化硅上。通过......
设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括......
