微力传感器相关论文
在现行教材中测量安培力大小的实验大多停留在定性描述阶段，大多不精确或不够严谨。通过滑动变阻器改变电流，以抽离磁铁的方式控制导......
微纳尺度材料力学性能测试技术是微纳米材料的重要研究方向之一。目前对力传感器灵敏度及测试精度的要求越来越高,需要有不断的突......
离子交换聚合体金属合成物（Ion-exchange Polymer-Metal Composites简称IPMC）是一类离子型电致形变智能材料（EAP）,其性能类似于生物肌......
科学技术的蓬勃发展极大提高了社会的生产力,在这个信息化的时代,科技带来的影响力无处不在,随着工业自动化水平的快速提高,人们对......
本文围绕显微外科手术机器人手指系统的研究与开发这个专题，对带力感觉手指系统的结构设计、无力感觉手指系统的结构设计、微力传感......
本文在全面分析国内外微力传感器研究状况的基础上，针对MEMS微装配对微力传感器的要求，设计了基于PVDF压电薄膜的一维和三维微力......
MEMS技术的发展为基于压电薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器的研究带来了巨大的机遇。压电式微力传感器具有低能耗、高灵敏......
随着对微纳米领域科学研究的不断深入，获取微纳米尺度下物体的力学信息已经成为了研究的热点问题。微力传感器作为MEMS领域中一种重......
随着科学技术的不断发展，人们对微观领域的研究也变得越来越深入，在21世纪末，微机电系统（Micro electromechanical system）得到了迅猛发......
微力传感器研究、制作、生产蓬勃开展,而微力传感器本身的性能计量却显得相对滞后。因此,构建一种稳定、精密的超微力计量体系成为......
在人们生活水平快速提高的当代，淋浴在日常生活中的作用越来越重要。在淋浴过程中，淋浴的舒适程度直接取决于喷射冲击力场作用在人体......
基于测量范德华力制成的原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM),现在已经广泛应用于化学、物理、表面科学等微观领域。压电式......
在利用金属丝阵Z箍缩产生强X射线辐射的方法中,为获得超强X射线,一般采用直径几μm的钨丝构成单、双或多层圆柱面状丝阵负载,其中......
为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度,比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的影响。运用Sol-Gel(溶胶-......
为了测量毫克级的微小力，设计并制造了一种硅基PZT薄膜悬臂式微力传感芯片。采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）方法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上成功制备......
设计了一种L型的二维微力传感器,该二维微力传感器采用悬臂梁式结构。在弹性力学和材料力学基础上,利用Solidworks三维建模软件和A......
提出一种沿长度方向突变的变截面直梁压电振子结构,该振子能保证输送工作台面上各质点振幅均匀一致。由于振子具有结构对称性,可在......
描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜(EFM).利用谐振频率为32.768 kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器,它在逼近......
在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜.......
以压电智能材料聚偏氟乙烯（PVDF）作感知和离子交换膜金属聚合物（IPMC）作驱动的悬臂梁为研究对象,建立了智能悬臂梁的压电传感和致动方......
压电式传感器和执行器具有结构简单、响应速度快、高频适用性强、驱动和处理电路简单等特点,在超声检测、精密位移和定位、声学及......
为满足三维微力测量的需求，以MEMS体硅压阻工艺技术为基础，研制了一种基于微探针形式，具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻......
提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜,采用X射线衍射技术表征......
由于SU-8胶的弹性模量比硅的低,在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数,因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成......
压电式传感器和执行器具有结构简单、响应速度快、高频适用性强、驱动和处理电路简单等特点，在精密位移，精密定位、声学及力学量的检......
随着科学技术的发展,淋浴喷头功能性逐渐增性。喷射水流对人体的冲击力是评价多功能淋浴喷头性能的主要参数,也是衡量淋浴喷头洗浴......
微构件表面的摩擦状况和磨损机理与宏观构件有较大的区别,需一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器.给出了一种新型硅微力传......
设计了一种新型微力传感器,利用电阻式应变原理,采用柱式结构,量程小,灵敏度高,灵敏度可达0.0575V/N,适用于微力测量。对其弹性元......
MEMS技术的发展为基于压电PZT薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器研究带来了新的机遇。压电式微力传感器的低能耗、高灵敏度......
压电式微力传感器的低能耗、高灵敏度、易于与压电微执行器集成等优点使其具有良好的应用前景。但是与目前较为成熟的压阻式微力传......
随着科学研究对象向微小、超精密领域的方向的发展,机器人所要操作的对象也从宏观领域扩展到亚微米、纳米级的微观领域。微操作机......
基于一种压电材料——PVDF压电薄膜,设计了一种新型的微力传感器,从PVDF微力传感器的原理、设计、标定等过程进行详细研究。采用电......
<正> 一、引言 微力传感器在微量称重、液体表面张力分析以及生物体微组织力测量等领域具有广阔的应用前景。我国以前自主研制的微......
光纤传感技术是实现精密测量的重要手段之一。反射式强度调制型光纤压力传感器灵敏度高、结构简单、造价低廉、抗干扰能力强；另外，光......
离子交换聚合体金属合成物(Ion-exchange Polymer-Metal Composites简称IPMC)是一种电致形变智能材料,它具有质轻、柔韧性好,可切......
用微力传感器测试了蟋蟀攀登的动力学特性,并与文献中壁虎的相比较,分析不同因素对攀登动力学特性的影响.结果表明,攀登时蟋蟀质心......
提出一种基于光子晶体微腔的高灵敏度的微力测量方法.首先,提出一种M型结构的梁作为传感探头,使系统在受到微力作用时,仅有光子晶......
采用硅基应变片设计了一种可用于精密微装配作业过程,检测x、y、z方向微接触力的三维微力传感器;经微小改动后,该传感器可成为五维......
