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描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜(EFM).利用谐振频率为32.768 kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器,它在逼近试件表面过程中,振动特性发生变化.通过检测振动幅值的变化,并经过信号处理来获得样品表面电荷分布的信息.在分析了EFM检测原理的基础上,设计了EFM系统.
基于微石英晶振的静电力显微镜的设计
【摘 要】
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描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜(EFM).利用谐振频率为32.768 kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器,它在逼近试件表面过程中,振动特性发生变化.通过检测
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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武汉理工大学学报(信息与管理工程版)
【发表日期】
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2001年4期
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