【摘 要】
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采用硅基应变片设计了一种可用于精密微装配作业过程,检测x、y、z方向微接触力的三维微力传感器;经微小改动后,该传感器可成为五维微力传感器。分析了力传感器测量原理,建立
【机 构】
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浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,南昌大学机电工程学院
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采用硅基应变片设计了一种可用于精密微装配作业过程,检测x、y、z方向微接触力的三维微力传感器;经微小改动后,该传感器可成为五维微力传感器。分析了力传感器测量原理,建立其测量模型,并设计了传感器信号放大电路。测试了微力传感器的性能指标,在x、y、z3个方向的微力测量分辨率为0.001 N,测量精度可达0.005 N,测量范围为-0.5~＋0.5 N。最后设计了微装配作业控制系统,并利用该传感器实现力位移混合控制,顺利完成了Ф180μm微型轴与200μm微型孔间的精密微装配实验研究。
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