二氯二氢硅相关论文
化学汽相淀积（ＣＶＤ）设备的使用与维修王焕杰，张克云，陈振昌（复旦大学．上海．２００４３３）自８０年代初开始，化学汽相淀积（简称ＣＶＤ）工艺及其专用设备，在我国半导体器件制......
摘 要：利用二氯二氢硅与四氯化硅反歧化反应生成三氯氢硅的原理，本文提出一种改善二氯二氢硅的反歧化系统试验的有效措施，对反歧化化......
多晶硅作为原材料，被广泛应用于半导体信息产业和光伏产业中。目前国内外存在几种多晶硅生产工艺，而第三代改良西门子法是应用范围最......
多晶硅作为光伏产业的原材料应用广泛。采用改良西门子法生产多晶硅，工艺流程长、多晶硅还原一次转化率较低导致多晶硅的生产成本偏......
目前硅外延生长常用方法是以电子级二氯二氢硅为反应气体,采用化学气相沉积的气相外延法.二氯二氢硅生产工艺主要有歧化法、氢化法......
在特定催化剂作用下采用固定床的方法，消耗二氯二氢硅和四氯化硅生产出氯硅烷（三氯氢硅和四氯化硅的混合物）。分别研究四氯化硅、三氯......
二氯二氢硅反歧化装置利用二氯二氢硅与四氯化硅的反歧化反应原理，可以有效地将二氯二氢硅转化成多晶硅生产原料三氯氢硅加以回收利......
在多晶硅改良西门子方法生产中，系统中B杂质会富集且很难除去，对产品质量影响很大，另外，运行中会产生一定量的副产物二氯二氢硅，不易回......
随着集成电路产业近年来的高速发展,对可用于12寸晶圆的高纯电子级多晶硅的需求不断提升,但是国内少数厂家仅能进入中低端市场,在......
本文对二氯二氢硅反歧化反应在热力学上的可行性进行了理论研究；并借助计算机模拟，探讨了不同温度、压力和进料配比对二氯二氢硅在反......
利用二氯二氢硅与四氯化硅反歧化反应生成三氯氢硅的原理,提出一种用于回收处理二氯二氢硅的反应精馏流程,其特征是将四氯化硅含量......
多晶硅生产过程中副产物二氯二氢硅,可在催化剂作用下与四氯化硅发生逆歧化反应生成三氯氢硅。通过利用反应精馏技术,使逆歧化反应......
根据二氯二氢硅原料分析得到其实际组成与含量,结合工厂现有的生产设备与生产情况,应用AspenPlus软件设计并模拟了分离二氯二氢硅......
二氯二氢硅在半导体行业有广泛的应用,是一种重要的电子级硅基原料,但是二氯二氢硅在生产、充装、仓储、运输、使用的过程中有较大......
<正> 质量流量控制器（Mass Flow Controllers:MFC）是一种精确控制气体流量的部件。实际上它包括质量流量控制（MFC）和质量流量计（Mass Fl......
针对多晶硅生产废气难以处理的问题，采用全新工艺回收生产废气中的氯硅烷，同时以氯化钙晶体的形式回收废气中的氯元素，降低外排废水中......
多晶硅产能近几年迅速扩张,副产物四氯化硅（SiCl4,简写STC）和二氯二氢硅（SiH2Cl2,简写DCS）随之迅速增加。出于环境保护和生产经济性考......
<正>本发明提供了一种三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅的精馏方法:包括:a)将含有三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅以及杂质的原料液......
SEMI C3-0699气体规范SEMI C3.12-1102瓶装氨标准，纯度99.998%SEMI C3.1-93 (Reapproved 1101)...
<正> 特种气体按其化学物质结构可分为: 1.硅类;硅烷、二氯二氢硅、三氯硅烷、四氟化硅、乙硅烷等; 2.砷类:砷烷、三氟化砷、五氟......
采用特定的催化剂,在反歧化精馏装置上由二氯二氢硅制备三氯氢硅。研究了物料配比、温度、压力、回流量等因素对二氯二氢硅转化率......
简单介绍了二氯二氢硅的生产方法,以1 000 t多晶硅生产系统为例,计算出还原工序、四氯化硅氢化工序、三氯氢硅合成工序以及整个系......
随着环境污染和能源短缺问题的加剧,各国纷纷开始新型能源的开发,多晶硅的市场需求量也随之增加,而四氯化硅和二氯二氢硅等副产物......
特种气体贮运、应用、安全与特性——硅烷、砷烷、二氯二氢硅梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）硅烷别名甲硅烷；四氢化硅英文名称......
1 SEMI气体标准替代情况1."SEMI C3.18-1102 瓶装二氯二氢硅规范,等级97%"和"SEMI C3.31-1102 瓶装二氯二氢硅规范,等级99%(暂定)"......
叙述了采用普通色谱仪完成极易水解的电子级二氯二氢硅的全组份在线检测和产品质量分析的方法。自行设计安装了一套真空取样装置,......
二氯二氢硅是多晶硅生产中产生的主要副产物,其长期富集在生产系统会对质量、安全及系统稳定运行造成影响。通过分析二氯二氢硅的......
详述了二氯二氢硅与四氯化硅进行反歧化反应制备三氯氢硅技术的研究进展,简述了二氯二氢硅在制备多晶硅、硅烷气、多晶硅薄膜、氮......
