【摘 要】
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多晶硅产能近几年迅速扩张,副产物四氯化硅（SiCl4,简写STC）和二氯二氢硅（SiH2Cl2,简写DCS）随之迅速增加。出于环境保护和生产经济性考虑,需对STC和DCS进行回收处理。对于STC的处
【基金项目】
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四川省教育厅自然科学基金项目(17ZB0200)
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多晶硅产能近几年迅速扩张,副产物四氯化硅（SiCl4,简写STC）和二氯二氢硅（SiH2Cl2,简写DCS）随之迅速增加。出于环境保护和生产经济性考虑,需对STC和DCS进行回收处理。对于STC的处理,冷氢化工艺应用日益广泛;同时,在还原炉进气中添加STC的研究也展示了良好前景。对于二氯二氢硅的处理,研究普遍采用反歧化法,使DCS和STC反应,生成三氯氢硅（SiHCl3,简写TCS）,重新进入还原生产,循环利用。从国内外相关技术研究看,可以在还原炉进气中适量添加STC或DCS,使STC或DCS转化成TCS,从而充分利用物料,降低回收处理系统负荷,达到节能降耗环保安全的目的。
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