【摘 要】
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论述了多晶硅的生产工艺,主要包括西门子法、改良西门子法、硅烷法、流化床法。其中改良西门子法生产成本低、污染小而成为目前生产多晶硅的主要工艺。论述了改良西门子法生
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论述了多晶硅的生产工艺,主要包括西门子法、改良西门子法、硅烷法、流化床法。其中改良西门子法生产成本低、污染小而成为目前生产多晶硅的主要工艺。论述了改良西门子法生产多晶硅工艺中副产物四氯化硅和二氯二氢硅的来源与危害。重点阐述了四氯化硅的氢化反应和二氯二氢硅的反歧化反应。评价了四氯化硅的冷氢化工艺和二氯二氢硅的反歧化工艺在多晶硅生产中的实用价值。
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