多晶硅生产系统内二氯二氢硅的产生与利用

来源 :中国有色冶金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:menghong1882
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简单介绍了二氯二氢硅的生产方法,以1 000 t多晶硅生产系统为例,计算出还原工序、四氯化硅氢化工序、三氯氢硅合成工序以及整个系统二氯二氢硅的生成量,对多晶硅系统副产二氯二氢硅的利用进行了讨论.
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